[實用新型]一種非真空的步進通過式快速硒化裝置

有效

• 申請號: 201220696939.2
• 申請日: 2012-12-15
• 公開（公告）號: CN202989270U
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 李和勝;李劼;閆升運;孫琳;王巖
• 申請（專利權）人: 山東孚日光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C8/06
• 分類號: C23C8/06;C30B31/06;H01L31/032
• 代理公司: 濰坊正信專利事務所 37216
• 代理人: 王偉霞

1.一種非真空的步進通過式快速硒化裝置，包括工藝腔室，所述工藝腔室利用門閘分割為順次排列的裝載腔、加熱腔、保溫腔、冷卻腔和卸載腔，所述裝載腔、加熱腔、保溫腔、冷卻腔和卸載腔內均設置有相互配合的、用以承載待硒化基板的傳動輥；

其特征在于：所述加熱腔和保溫腔設置有加熱單元、鼓風單元和抽氣單元，所述加熱單元包括均勻分布于所述加熱腔和保溫腔內部的電熱絲以及上下兩排鹵素燈；

所述鼓風單元設置于所述加熱腔和保溫腔的一側，包括將工藝氣體格柵化的格柵板，所述格柵板設置于所述加熱腔和保溫腔的腔室內；

所述抽氣單元設置于所述加熱腔和保溫腔與所述鼓風單元相對的一側，包括抽氣機、導流板和格柵板，所述抽氣機的進氣口利用導流板引至腔室內，且導流板的上游位置設置有所述格柵板。

2.如權利要求1所述的一種非真空的步進通過式快速硒化裝置，其特征在于：所述工藝腔室為狹縫形。

3.如權利要求1所述的一種非真空的步進通過式快速硒化裝置，其特征在于：所述裝載腔與加熱腔之間門閘開啟方向為向裝載腔一側，所述保溫腔與冷卻腔之間門閘開啟方向為向冷卻腔一側。

4.如權利要求1所述的一種非真空的步進通過式快速硒化裝置，其特征在于：所述加熱腔和保溫腔用隔熱保溫材料制有隔熱層，所述隔熱層內嵌均勻分布的所述電熱絲。

5.如權利要求1所述的一種非真空的步進通過式快速硒化裝置，其特征在于：所述上下兩排鹵素燈間隔分布，且下排鹵素燈分布于傳動輥下方、位于各傳動輥之間。

6.如權利要求1所述的一種非真空的步進通過式快速硒化裝置，其特征在于：所述鼓風單元的鼓風機利用導流板連接所述格柵板。

7.如權利要求1所述的一種非真空的步進通過式快速硒化裝置，其特征在于：所述鼓風單元的鼓風機安裝于所述格柵板的各個柵格內。