[實用新型]化學藥液儲液罐轉換連接器

有效

• 申請號: 201220696712.8
• 申請日: 2012-12-14
• 公開（公告）號: CN203006192U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 徐能;初國超;裴立坤;吳儀
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: B65D90/00
• 分類號: B65D90/00;B65D90/34
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國勝

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及一種將供液、回液、補氣、超壓溢流排氣等多種功能連接集于一體的化學藥液儲液罐轉換連接器。

背景技術

在半導體制造工藝中需要用到各種化學藥液，其中包括強腐蝕性藥液，而此藥液都是由工藝設備外部供給的濃度較高的原液經過一定比例稀釋后方可使用的。現階段所使用的化學液原液基本都是標準品，由于其具有較強的腐蝕性，在盛裝、保存和使用過程中都要盡量避免與操作人員直接接觸或直接暴露于環境中，以免污染環境或被環境污染。

存儲藥液的儲液罐是由耐化學藥液腐蝕的材料制成，儲液罐頂部通常設有兩個連接口，其中一個可以作為備用或者根據需要連接。其連接形式和液體輸送形式較為單一，不能滿足較復雜的輸送工藝要求。在實際使用過程中，由廠端向工藝設備供給化學藥液原液時，出于供給的穩定性和安全性等方面的考慮，除了簡單的供液或通氣接口外還需要儲液罐具備連接其他需求管路的功能，以便適應較復雜或者功能要求較多的藥液供給系統。

實用新型內容

（一）要解決的技術問題

本實用新型要解決的技術問題是提供一種能夠與現有的化學原液儲液罐配合使用，并將供液、回液、補氣、超壓溢流排氣等多種功能連接集于一體的化學藥液儲液罐轉換連接器。

（二）技術方案

為達上述目的，本實用新型的化學藥液儲液罐轉換連接器，其設有供液連接口3、補氣連接口4、超壓溢流排氣孔1和回液連接口2；所述超壓溢流排氣孔1為二階圓通孔，包括第一階排氣通孔和第二階排氣通孔，所述第二階排氣通孔與儲液罐13相連，所述第一階排氣通孔的直徑大于所述第二階排氣通孔的直徑。

所述第一階排氣通孔內安裝有端蓋5、彈簧6和密封珠7，所述端蓋5和所述密封珠7分別置于所述彈簧6的兩端，所述密封珠7在彈簧6作用下將所述第二階排氣通孔活動密封，所述端蓋5上設有通孔。

所述端蓋5上設有外螺紋，所述端蓋5通過螺紋與超壓溢流排氣孔1連接。

所述端蓋5上的通孔為內六角型。

所述回液連接口2為二階圓通孔，包括第一階回液通孔和第二階回液通孔，所述第二階回液通孔與儲液罐13相連，所述第一階回液通孔的直徑小于所述第二階回液通孔的直徑，所述第二階回液通孔的端面設有多孔板，所述多孔板上的孔為通孔。

所述多孔板上的所有孔的橫截面積之和大于回液管路的橫截面積。

所述化學藥液儲液罐轉換連接器的材質為耐腐蝕性塑料。

（三）有益效果

本實用新型采用上述技術方案提供的裝置，將供液、回液、補氣和超壓溢流排氣等功能連接集成于一體，可滿足復雜和不同的藥液輸送工藝使用要求；當儲液罐內氣壓大于設定壓力時，超壓溢流排氣孔排氣，使罐內氣壓穩定，有利于供液的穩定，并且超壓排氣的臨界壓力可調；帶有多孔板的回液連接口，可以減小回流藥液對儲液罐內藥液的沖擊，有利于供液和藥液本身的穩定，且減小了噪音。

附圖說明

圖1是本實用新型化學藥液儲液罐轉換連接器的剖面圖；

圖2是本實用新型化學藥液儲液罐轉換連接器的應用示意圖。

圖中，1：超壓溢流排氣孔；2：回液連接口；3：供液連接口；4：補氣連接口；5：端蓋；6：彈簧；7：密封珠；8：供液連接口外部接頭；9：回液連接口接頭；10：供液連接口內部接頭；11：內部供液管；12：補氣連接口接頭；13：儲液罐。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型化學藥液儲液罐轉換連接器作進一步詳細說明。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。