[實用新型]一種用于反應腔的基板加熱及傳輸裝置有效

申請號：	201220695840.0	申請日：	2012-12-14
公開（公告）號：	CN202936479U	公開（公告）日：	2013-05-15
發明（設計）人：	彭侃;吳國發	申請（專利權）人：	漢能新材料科技有限公司
主分類號：	C23C16/46	分類號：	C23C16/46;C23C16/56
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	101407 北京***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于反應加熱傳輸裝置
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【權利要求書】：

1.一種用于反應腔的基板加熱及傳輸裝置，其特征在于：包括安裝在反應腔（1）側壁上的滾輪傳動裝置和設置在反應腔（1）底部的升降支撐裝置，其中，所述滾輪傳動裝置包括僅支持轉動的磁流體密封傳動裝置（2）及受其制動的傳輸滾輪（3），所述傳輸滾輪（3）通過傳輸墊板（4）運輸基板；所述升降支撐裝置包括加熱板托架（5）及控制其運動的升降氣缸（6），所述加熱板托架（5）上設有加熱板（7）。

2.根據權利要求1所述的用于反應腔的基板加熱及傳輸裝置，其特征在于：所述升降氣缸（6）的推桿外套設有金屬波紋管（8）。

3.根據權利要求1所述的用于反應腔的基板加熱及傳輸裝置，其特征在于：所述傳輸墊板（4）與加熱板（7）為面-面接觸。

4.根據權利要求1所述的用于反應腔的基板加熱及傳輸裝置，其特征在于：所述傳輸墊板（4）的面積為單塊基板面積的兩倍以上。

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