[實用新型]一種真空抽取尾料進行定向凝固提純多晶硅的設備

有效

• 申請號: 201220686426.3
• 申請日: 2012-12-13
• 公開（公告）號: CN202968135U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 譚毅;姜大川;安廣野;石爽;吳少輝
• 申請（專利權）人: 青島隆盛晶硅科技有限公司
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空抽取尾料進行定向凝固提純多晶硅的設備，由真空腔室（2）構成外壁，外壁上安裝有真空管路（15），真空管路一端與真空泵組（14）相連，其特征是：外壁上固定安裝有通氣管路（16），且活動安裝有尾料收集箱（13），水冷盤（12）活動安裝于真空腔室底部，石墨板（11）置于水冷盤頂端，石墨板上開有孔，石墨支柱（10）一端通過孔與石墨板嵌套連接，另一端與石墨托盤（9）嵌套連接，坩堝置于石墨托盤之上，石墨發熱體（6）套于坩堝（7）外圍且固定于真空腔室側壁，碳氈保溫桶（4）套于石墨發熱體之外且固定于真空腔室側壁，碳氈保溫蓋（3）上開有孔，置于碳氈保溫桶頂端，感應線圈（5）套于碳氈保溫桶之外且固定于真空腔室側壁之上，石英管（1）活動安裝于真空腔室頂端，且其下端穿過碳氈保溫蓋置于坩堝正上方中心位置，上端通過閥門（17）與真空裝置（18）活動密封連接，真空裝置上安裝有真空計（19）。

2.根據權利要求1所述的一種真空抽取尾料進行定向凝固提純多晶硅的設備，其特征是：所述石墨板（11）上的孔至少為3個。

3.根據權利要求1所述的一種真空抽取尾料進行定向凝固提純多晶硅的設備，其特征是：所述石墨托盤（9）上開有卡槽。

4.根據權利要求1所述的一種真空抽取尾料進行定向凝固提純多晶硅的設備，其特征是：所述石英管（1）與真空腔室（2）之間真空密封活動連接。

5.根據權利要求1或4所述的一種真空抽取尾料進行定向凝固提純多晶硅的設備，其特征是：所述石英管（1）為尖嘴石英管，其下端管口為尖嘴錐形，上端為圓柱形，整體呈上端封閉的漏斗形狀。

6.根據權利要求1所述的一種真空抽取尾料進行定向凝固提純多晶硅的設備，其特征是：所述真空裝置（18）包括機械泵和羅茨泵。