[實(shí)用新型]一種LED襯底材料生長(zhǎng)的控制系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201220682116.4 | 申請(qǐng)日： | 2012-12-11 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN202975703U | 公開(kāi)（公告）日： | 2013-06-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐永亮;汪海波;廖德元;鄧鵬飛 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 上海昀豐新能源科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G05B19/05 | 分類(lèi)號(hào)： | G05B19/05;C30B35/00;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 201315 上海市浦東新*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 led 襯底 材料 生長(zhǎng) 控制系統(tǒng) | ||
1.一種LED襯底材料生長(zhǎng)的控制系統(tǒng)，其特征在于，包括：主系統(tǒng)、籽晶旋轉(zhuǎn)分系統(tǒng)、籽晶升降分系統(tǒng)、電源控制分系統(tǒng)、晶體成像分系統(tǒng)以及晶體稱(chēng)重分系統(tǒng)，其中，所述主系統(tǒng)包括：可編程邏輯控制器、開(kāi)關(guān)量輸入模塊、開(kāi)關(guān)量輸出模塊、模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊、數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊、串口通訊模塊、第一計(jì)數(shù)模塊以及第二計(jì)數(shù)模塊；
所述籽晶旋轉(zhuǎn)分系統(tǒng)通過(guò)所述第一計(jì)數(shù)模塊與所述可編程邏輯控制器相連，所述第一計(jì)數(shù)模塊用于檢測(cè)所述籽晶旋轉(zhuǎn)分系統(tǒng)中的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器輸出的脈沖個(gè)數(shù)；
所述籽晶升降分系統(tǒng)通過(guò)所述第二計(jì)數(shù)模塊與所述可編程邏輯控制器相連，所述第二計(jì)數(shù)模塊用于檢測(cè)所述籽晶升降分系統(tǒng)中的升降驅(qū)動(dòng)器輸出的脈沖個(gè)數(shù)；
所述電源控制分系統(tǒng)通過(guò)所述串口通訊模塊與所述可編程邏輯控制器相連，所述串口通訊模塊用于與所述電源控制分系統(tǒng)中的電源進(jìn)行數(shù)字通訊，控制和檢測(cè)所述電源的狀態(tài)；
所述晶體成像分系統(tǒng)與所述可編程邏輯控制器相連，用于顯示晶體的生長(zhǎng)圖像；
所述晶體稱(chēng)重分系統(tǒng)通過(guò)所述模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊與所述可編程邏輯控制器相連，所述模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊用于將所述晶體稱(chēng)重分系統(tǒng)輸出的模擬量轉(zhuǎn)化為0-4000或0-16000之間的數(shù)字量；
所述開(kāi)關(guān)量輸入模塊與所述可編程邏輯控制器相連，用于采集外界輸入的開(kāi)關(guān)量；
所述開(kāi)關(guān)量輸出模塊與所述可編程邏輯控制器相連，用于輸出控制的開(kāi)關(guān)量；
所述數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊與所述可編程邏輯控制器相連，用于將數(shù)字量轉(zhuǎn)化成控制外接設(shè)備的模擬量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述可編程邏輯控制器為三菱Q06DUEHCPU型PLC。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述晶體稱(chēng)重分系統(tǒng)包括：第一稱(chēng)重傳感器、第二稱(chēng)重傳感器、第一放大模塊以及第二放大模塊；
所述第一稱(chēng)重傳感器將輸出的電流信號(hào)通過(guò)所述第一放大模塊進(jìn)行放大，并傳輸至所述模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊；
所述第二稱(chēng)重傳感器將輸出的電流信號(hào)通過(guò)所述第二放大模塊進(jìn)行放大，并傳輸至所述模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊；
相應(yīng)的，所述可編程邏輯控制器接收所述模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊輸出的數(shù)字信號(hào)，并進(jìn)行差分處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，還包括紅外測(cè)溫儀，
所述紅外測(cè)溫儀用于檢測(cè)晶體生長(zhǎng)爐的溫度，并將檢測(cè)到的溫度發(fā)送至所述可編輯邏輯控制器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述籽晶升降分系統(tǒng)包括：伺服電機(jī)、伺服驅(qū)動(dòng)器以及電磁換擋器，
所述電磁換擋器根據(jù)接收到的不同外界控制信號(hào)，觸發(fā)所述伺服驅(qū)動(dòng)器控制所述伺服電機(jī)處于不同的檔位。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，
所述開(kāi)關(guān)量輸入模塊為QX42；
所述開(kāi)關(guān)量輸出模塊為QY42P；
所述模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊為Q68AD或Q64AD；
所述數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊為Q64DA；
所述串口通訊模塊為QJ71C24；
所述第一計(jì)數(shù)模塊以及第二計(jì)數(shù)模塊為QD62D。
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