[實用新型]一種用于糾正藍寶石晶棒端面晶向的光學(xué)定位工具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220681603.9
• 申請日: 2012-12-11
• 公開（公告）號: CN203003620U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 左洪波;楊鑫宏
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱奧瑞德光電技術(shù)股份有限公司
• 主分類號: B24B7/16
• 分類號: B24B7/16;B24B7/22;B24B49/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

（一）技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型提供一種能夠準確保證工件規(guī)定加工方向的定位工具，具體涉及一種藍寶石晶棒端面平磨糾正晶向過程中晶棒端面標示直線與底部粘板相互平行的光學(xué)定位工具。?

（二）背景技術(shù)

藍寶石具有硬度高、耐高溫、絕緣性好等一系列優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用在高亮度LED襯底制造方面。制作藍寶石襯底首先需要加工出高定向精度的晶棒，在此基礎(chǔ)上進行切片，研磨、拋光等工序成為合格產(chǎn)品。為了更好地與外延層晶格匹配，減少外延層缺陷，對藍寶石襯底片晶向具有嚴格的要求，一般晶向偏差要求在0.02~0.05度。因此，在晶棒加工過程中，需要對晶棒端面晶向進行糾正。?

目前采取的方法是，在X射線衍射儀上檢測完晶棒端面的晶向后，如果晶向的精度不符合要求，就需要根據(jù)X射線衍射儀測試結(jié)果確定出需要糾正偏差的方向和角度值，并在晶棒的端面劃出定位直線。然后將晶棒放在鋼制方形平面粘板上，此時需要轉(zhuǎn)動晶棒，用肉眼來觀察，使晶棒端面上所劃定位直線和鋼制方形平面粘板上某一條基準邊平行后再固定晶棒。最后，根據(jù)所需調(diào)整角度，用磨床來對晶棒端面進行磨削，完成晶向糾正。?

這種方法的問題在于，由于是通過肉眼來觀察晶棒端面上所劃的定位直線和鋼制方形平面粘板上某一條基準邊是否平行的，容易造成人為定位偏差。需要對晶棒的端面晶向進行多次糾正，既影響了加工效率，又增加了產(chǎn)品的加工成本。?

（三）發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種在藍寶石晶棒端面平磨糾正晶向過程中能夠快速準確確定晶棒端面標示直線與底部粘板相互平行的用于糾正藍寶石晶棒端面晶向的光學(xué)定位工具。?

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：它包括底座4、支架3、光學(xué)系統(tǒng)1和導(dǎo)軌7四部分，支架3固定在底座4上，支架3上面安裝有兩根橫梁2，兩根橫梁2之間設(shè)置有導(dǎo)軌7，光學(xué)系統(tǒng)1設(shè)置在導(dǎo)軌7上，可以通過導(dǎo)軌前后滑動，光學(xué)系統(tǒng)中包括依次設(shè)置的LED光源8、一組光學(xué)透鏡9、機械隙縫10和聚焦鏡筒11，底座4上設(shè)置有鋼制方形平面粘板5，待加工晶棒6放置在鋼制方形平面粘板5上。?

本實用新型還有這樣一些技術(shù)特征：?

1、所述的底座上設(shè)置有直角突起，鋼制方形平面粘板緊靠在定位工具底座的直角突起上；?

2、所述的光學(xué)系統(tǒng)中，從上到下依次裝有LED光源8、一組光學(xué)透鏡9、機械隙縫10?和聚焦鏡筒11，機械縫隙10及聚焦鏡筒11置于一組光學(xué)透鏡9中右側(cè)的透鏡上，光學(xué)透鏡使LED光源發(fā)出的光匯聚，匯聚后光線通過機械狹縫后變成一條直線出射光，調(diào)整聚焦鏡筒直到光線變成一條清晰的直線。?

本實用新型的技術(shù)特點有：?

1、機械隙縫可以使得光源發(fā)出的光通過機械隙縫后，使光學(xué)系統(tǒng)最后發(fā)出的光為一條直線。該直光線的方向與底座標示中線平行。?

2、光學(xué)系統(tǒng)可以沿導(dǎo)軌前后滑動。?

3、聚焦鏡筒可以旋動，可以調(diào)整照射在晶棒端面上的直線光的清晰度。?

本實用新型的有益效果是，首先在使用前校正光線位置與底座中線平行。然后將鋼制方形平面粘板靠在底座突起上，確保粘板與底座中線平行。最后通過調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)確定晶棒標示直線與粘板平行。這樣也就保證了晶棒端面上所劃的定位直線與鋼制方形平面粘板基準邊平行，進而保證加工方向的準確性。機械隙縫10可以使得光源發(fā)出的光，最終照射在晶棒端面上是一條直的光線。聚焦鏡筒11可以保證照射在晶棒端面上的直的光線的清晰度。?

本實用新型解決了生產(chǎn)過程中，為了糾正藍寶石晶棒端面的晶向，采用肉眼來對晶棒端面進行加工定位所帶來的精度不高的問題，提高了定位精度和工作效率，節(jié)省了加工成本。?

（四）附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖2為圖1的側(cè)視圖；?

圖3為圖1的俯視圖；?

圖4為光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。?

（五）具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型進行詳細說明。?

結(jié)合圖1，本實用新型包括底座4及固定在底座上的支架3，支架3上面安裝有橫梁2，兩根橫梁2間架有導(dǎo)軌7。光學(xué)系統(tǒng)1安放在導(dǎo)軌7上，可以通過導(dǎo)軌前后滑動。光學(xué)系統(tǒng)中包括依次設(shè)置的LED光源8、一組光學(xué)透鏡9、機械隙縫10和聚焦鏡筒11，底座4上設(shè)置有鋼制方形平面粘板5，待加工晶棒6放置在鋼制方形平面粘板5上?

結(jié)合圖4，機械隙縫10可以使得光源發(fā)出的光，最終照射在晶棒端面上是一條直的光線。聚焦鏡筒11可以保證照射在晶棒端面上的直的光線的清晰度。?

在X射線衍射儀上檢測完晶棒端面的晶向并確定出需要糾正偏差的方向和角度值后，在晶棒的端面劃出定位直線。首先在使用前校正光線位置與底座中線平行。然后將鋼制方形平面粘板緊靠在定位工具底座的直角突起上，調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)位置，使晶棒端面上所劃的定位直線和光學(xué)系統(tǒng)發(fā)出的直線光重合，然后固定晶棒。?