[實用新型]一種液晶顯示器的陣列基板

有效

• 申請號: 201220681041.8
• 申請日: 2012-12-11
• 公開（公告）號: CN203101786U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 朱夏明;孫亮;袁劍峰;林承武;邵喜斌
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1345;H01L27/12
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

本實用新型涉及液晶顯示領域，特別是指一種液晶顯示器的陣列基板。

圖1所示為FFS型液晶顯示器現有技術中陣列基板的平面結構示意圖，陣列基板結構中所有柵線通過單側柵短路條連接在一起。在液晶顯示器陣列基板制造工藝中，靜電放電預防和控制是一項重要的工作。陣列基板上形成柵金屬層圖形后進行等離子體增強化學氣相沉積工藝形成柵絕緣層，柵金屬層圖形在等離子體電場作用下會感應出靜電荷，在現有的陣列基板結構中，累積于柵線上不同電位的感應電荷會通過柵短路條轉移而達到平衡，如果靜電荷的平衡過程在納秒或者微秒量級的時間內完成，即發生靜電放電。靜電放電的峰值電流可達幾十安培，瞬間的功率非常大，所產生的靜電放電電磁脈沖能量足以燒毀柵短路條甚至柵線金屬，導致在后續的陣列測試工藝中無法給陣列基板加載檢測信號而影響電學缺陷的檢出與維修，顯著降低制造陣列基板的良品率。

本實用新型要解決的技術問題是提供一種液晶顯示器的陣列基板，解決現有技術中，形成有柵金屬層圖形的陣列基板在柵絕緣層形成工藝中發生靜電放電燒毀柵短路條甚至柵線金屬的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型的實施例提供一種液晶顯示器的陣列基板，包括透明基板，設置于透明基板上的柵線和數據線，還包括：設置于透明基板上的透明導電條和柵短路條，所述透明導電條位于所述柵短路條下方，所述柵短路條與所述數據線同層設置。

優選地，所述透明導電條的寬度大于所述柵短路條的寬度；

優選地，所述柵金屬層采用鉬、鉻、鋁、銅、鉬/鋁釹或者鉬/鋁/鉬多層膜；

所述數據金屬層采用鉬、鉻、鋁、銅、鉬/鋁釹或者鉬/鋁/鉬多層膜；

具體地，柵絕緣層，設置于所述柵電極之上且覆蓋整個基板；

半導體有源層、數據線、源電極和漏電極，位于所述柵絕緣層之上；

鈍化層，設置于所述源、漏電極之上且覆蓋整個基板，所述鈍化層在與漏電極對應位置形成有鈍化層過孔；

基于第二透明導電層形成的像素電極，位于所述鈍化層之上，通過所述鈍化層過孔與所述漏電極連接。

優選地，所述第一透明導電層和第二透明導電層采用氧化銦錫、銻摻雜氧化錫、鋁摻雜氧化鋅或者銦摻雜氧化鋅薄膜。

本實用新型的上述技術方案的有益效果如下：在柵短路條下方增加透明導電條，且柵短路條與數據線同層設置。透明導電條寬度較大，能承受較大的通過電流；此外，透明導電層厚度很薄且其電阻率比柵金屬大，透明導電條的電阻較現有技術中的柵短路條大得多。在柵絕緣層形成工藝中，柵線上不同電位的感應電荷能通過透明導電條以其能承受的通過電流轉移并達到平衡，且柵短路條在數據金屬層才形成，可避免因發生靜電放電而燒毀柵短路條的問題，在陣列測試工藝中能正常檢出和維修陣列基板中的電學缺陷，從而提高制造液晶顯示器陣列基板的良品率。

圖1表示FFS型液晶顯示器現有技術中陣列基板的平面結構示意圖；

圖2表示本實用新型實施例的一種陣列基板的平面結構示意圖；

圖3表示本實用新型實施例的一種陣列基板的制造方法流程示意圖；

圖3表示本實用新型實施例的一種陣列基板的制造方法流程示意圖；

圖4表示第一次構圖工藝后陣列基板的平面結構示意圖；

圖5表示第一次構圖工藝后沿GP?DP虛線方向的橫截面圖；

圖6表示第二次構圖工藝后陣列基板的平面結構示意圖；

圖7表示第二次構圖工藝后沿GP?DP虛線方向的橫截面圖；

圖8表示第三次構圖工藝后陣列基板的平面結構示意圖；

圖9表示第三次構圖工藝后沿GP?DP虛線方向的橫截面圖；

圖10表示第四次構圖工藝后陣列基板的平面結構示意圖；

圖11表示第四次構圖工藝后沿GP?DP虛線方向的橫截面圖；

圖12表示第五次構圖工藝后陣列基板的平面結構示意圖；

圖13表示第五次構圖工藝后沿GP?DP虛線方向的橫截面圖；

圖14表示柵絕緣層形成工藝中，柵線上不同電位的感應電荷通過透明導電條轉移達到平衡的過程示意圖；

透明基板?????11

公共電極?????120

透明導電條???121

柵短路條?????130

柵線?????????131

柵線?????????131

柵電極???????132

柵絕緣層?????14

半導體有源層?15

歐姆接觸層???16