[實用新型]晶圓測試探針卡有效
| 申請號： | 201220676323.9 | 申請日： | 2012-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN203011961U | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 馬金明 | 申請（專利權）人： | 江蘇匯成光電有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/073 | 分類號： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 蘇州廣正知識產權代理有限公司 32234 | 代理人： | 劉述生 |
| 地址： | 225109 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測試 探針 | ||
1.?一種晶圓測試探針卡，其包括底座、多個焊接位、擺針部及第一探針組，其特征在于，所述晶圓測試探針卡進一步包括第二探針組，多個焊接位設于底座的特定位置，擺針部設于底座上，第一探針組及第二探針組并排設于連接部上，底座、連接部及并排設置的第一探針組、第二探針組形成三層堆棧結構。
2.?根據權利要求1所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，所述底座為設有測試電路的印刷電路板，多個焊接位設于所述印刷電路板上的特定位置，與測試電路連接。
3.?根據權利要求2所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，所述焊接位為設于印刷電路板上的焊接孔，其為通孔。
4.根據權利要求1所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，所述第一探針組及第二探針組分別包括多個探針，且所述第一探針組及第二探針組的探針數量與擺放位置均與待測驅動晶圓的測試點數量及分布相吻合。
5.?根據權利要求1所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，所述第一探針組和第二探針組均包括分別多個輸入引腳和多個輸出引腳。
6.根據權利要求1所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，所述擺針部鄰近邊沿的位置設有固定點，第一探針組及第二探針組與焊接位之間的連接線通過固定點固定于連接部上。
7.?根據權利要求6所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，所述固定點為熱融樹脂。
8.?根據權利要求1所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，所述擺針部的大小可以容納至少兩組探針，對應至少兩個待測晶圓的測試點。
9.根據權利要求1所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，所述第一探針組和第二探針組的探針分布不同。
10.根據權利要求1所述的晶圓測試探針卡，其特征在于，所述第一探針組和第二探針組的探針分布相同。
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