[實用新型]光罩定位結構及光罩盒

有效

• 申請號: 201220674128.2
• 申請日: 2012-12-07
• 公開（公告）號: CN202956584U
• 公開（公告）日: 2013-05-29
• 發明（設計）人: 王猛
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G03F1/66
• 分類號: G03F1/66;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/68
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種光罩定位結構，用于防止位于光罩盒內的光罩發生位移，其特征在于：包括三個以上受壓變形后能夠擠壓光罩側壁的彈性定位件，所述三個以上彈性定位件環繞設置于所述光罩的四周。

2.根據權利要求1所述的光罩定位結構，其特征在于，所述彈性定位件包括彈性八面體。

3.根據權利要求2所述的光罩定位結構，其特征在于，所述彈性定位件還包括彈簧軸、彈簧和壓板，所述彈簧軸沿所述彈性八面體的豎向軸線設置，所述彈簧繞設于所述彈簧軸的外側，所述彈簧軸的上端伸出所述彈性八面體后與所述壓板固定連接。

4.根據權利要求1所述的光罩定位結構，其特征在于，所述彈性定位件均勻環繞設置于所述光罩的四周。

5.根據權利要求4所述的光罩定位結構，其特征在于，所述彈性定位件的數量是3~8個。

6.一種光罩盒，包括由底板和側板圍成的一端具有開口的盒體、用于封住所述開口的封蓋、以及用于支撐光罩的光罩支撐架，其特征在于，還包括如權利要求1所述的光罩定位結構，所述彈性定位件放松狀態時的高度大于所述封蓋封住所述開口時封蓋的內表面至所述底板的內表面之間的距離。

7.根據權利要求6所述的光罩盒，其特征在于，所述彈性定位件包括彈性八面體。

8.根據權利要求7所述的光罩盒，其特征在于，所述彈性定位件還包括彈簧軸、彈簧和壓板，所述彈簧軸沿所述彈性八面體的豎向軸線設置，所述彈簧繞設于所述彈簧軸的外側，所述彈簧軸的上端伸出所述彈性八面體后與所述壓板固定連接，彈簧放松狀態時所述壓板的上表面至所述底板的內表面之間的距離大于所述封蓋封住所述開口時封蓋的內表面至所述底板的內表面之間的距離。

9.根據權利要求6所述的光罩盒，其特征在于，所述彈性定位件均勻環繞設置于所述光罩的四周。

10.根據權利要求9所述的光罩盒，其特征在于，所述彈性定位件的數量是3~8個。