[實用新型]微米級四軸運動平臺

有效

• 申請號: 201220673071.4
• 申請日: 2012-12-10
• 公開（公告）號: CN203045153U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 金朝龍;趙耀
• 申請（專利權）人: 蘇州天弘激光股份有限公司
• 主分類號: B23K26/08
• 分類號: B23K26/08;B23Q1/25;B23Q5/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種微米級四軸運動平臺，包括底座(11)、X軸運動系統(41)、Y軸運動系統(42)、Z軸運動系統(43)和R軸運動系統(44)，其特征在于：?

X軸運動系統(41)包括X軸直線電機(412)、X軸光柵尺(413)、X軸導軌(411)和X軸滑塊，X軸導軌(411)和X軸直線電機(412)安裝于底座(11)上，X軸光柵尺(413)安裝于底座(11)上，X軸滑塊可移動地裝于x軸導軌(411)上；?

Y軸運動系統(42)包括Y軸直線電機(422)、Y軸光柵尺(423)、Y軸導軌(421)和Y軸滑塊，Y軸導軌(421)和Y軸直線電機(422)可移動地安裝于底座(11)上，Y軸光柵尺(423)安裝于Y軸導軌(421)上，Y軸滑塊可移動地安裝于Y軸導軌(421)上；?

Z軸運動系統(43)包括Z軸驅動器(432)、Z軸導軌(431)和Z軸滑塊434，Z軸導軌(431)和Z軸驅動器(432)固定于橫梁(13)上，橫梁(13)兩端分別安裝于立柱(12)上，立柱(12)固定于底座(11)上，Z軸滑塊434可上下移動地裝于Z軸導軌(431)上；?

R軸軸運動系統(44)包括基座(441)、平臺(442)、旋轉工作臺(443)、旋轉接頭(444)和傳動機構，基座(441)裝于Y軸運動系統(42)的臺面上，平臺(442)固定于基座(441)上，旋轉工作臺(443)可轉動地安裝于平臺(442)上并與傳動機構連接。?

2.根據權利要求1所述的微米級四軸運動平臺，其特征在于：所述旋轉工作臺(443)下方與平臺(442)上方有相互適配的環槽，環槽內裝有密封圈。?

3.根據權利要求1或2所述的微米級四軸運動平臺，其特征在于：所述旋轉工作臺(443)設貫穿其表面的吸氣孔，基座(441)上設有至少一個通孔與旋轉工作臺(443)上的吸氣孔相通，該通孔與鎖設于基座(441)底面的空心旋轉接頭(444)相連，空心旋轉接頭(444)與抽氣裝置連通。?

4.根據權利要求1或2所述的微米級四軸運動平臺，其特征在于：所述光柵尺(413、423)采用閉環反饋控制系統。?

5.根據權利要求1或2所述的微米級四軸運動平臺，其特征在于：所述電機(412、422)的位移傳感器采用直線電機霍爾傳感器。?

6.根據權利要求1或2所述的微米級四軸運動平臺，其特征在于：底座(11)、立柱(12)以及橫梁(13)，采用花崗巖。?