[實用新型]單晶生長用石英安瓿內壁碳膜制備裝置

有效

• 申請號: 201220672715.8
• 申請日: 2012-12-07
• 公開（公告）號: CN202968689U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 吳卿;周立慶;劉興新;徐強強
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十一研究所
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26
• 代理公司: 工業和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 吳永亮

1.一種單晶生長用石英安瓿內壁碳膜制備裝置，其特征在于，包括：

在石英安瓿（1）的頸部（2）設置安瓿支架（4），所述安瓿支架（4）內設有通道；

所述通道內設置導流管（3），所述導流管（3）的一端插進所述石英安瓿（1）的底部，所述導流管（3）的另一端穿出所述安瓿支架（4）與排氣管（7）相連接，所述排氣管（7）的另一端與真空泵連接；

所述安瓿支架（4）上還設有進氣管（8），所述進氣管（8）內的碳膜裂解氣體通過所述導流管（3）與所述頸部（2）之間的空隙進入所述石英安瓿（1）；

所述進氣管（8）和所述排氣管（7）上均設有流量計。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述安瓿支架（4）與所述頸部（2）的連接處設有第一密封裝置（6）。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一密封裝置（6）為密封圈和密封膠中的一種或多種。

4.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述導流管（3）與所述排氣管（7）的連接處設有第二密封裝置（5）。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述第二密封裝置（5）為密封圈和密封膠中的一種或多種。

6.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述進氣管（8）的流量為10-30ml/min，所述排氣管（7）的流量為10-50ml/min。