[實用新型]一種基板異物檢測裝置及曝光機

有效

• 申請號: 201220669395.0
• 申請日: 2012-12-06
• 公開（公告）號: CN202947713U
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 吳琪;張力舟;尹鎮鎬;孟祥明;張磊
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01B21/02
• 分類號: G01B21/02;G03F7/20
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本實用新型涉及基板檢測技術領域，特別涉及一種基板異物檢測裝置及曝光機。

背景技術

接近式曝光機因具有較高的曝光精度而廣泛使用，在使用接近式曝光機時，曝光機上的掩模板與基板之間的距離需要控制在一定的范圍內，以免因待曝光基板上的顆粒狀的異物劃傷掩模板而增加生產成本。

為了進一步減少異物劃傷掩模板發生的風險，在對基板曝光之前，需要檢測基板上的異物高度是否異常；目前，通常采用基板異物檢測裝置來檢測基板上異物的高度是否異常，具體地，基板異物檢測裝置包括：拍照系統，與拍照系統信號連接的控制裝置，其中，拍照系統拍攝整個待曝光基板，獲得基板上異物的平面圖，控制裝置根據上述圖像，把異物的平面直徑近似為異物的高度，將平面圖形模擬成近似球形，從而計算出異物的高度

不過，上述計算出異物高度的方法存在缺陷，得到只是異物的近似高度，并不能準確反映出實際存在的異物高度，特別是對針形異物或不均勻異物不能準確計算異物高度，會導致異物劃傷掩模板情況發生，而且，當基板上異物較多時，控制裝置處理的數據量大，導致在設定的時間內不能計算出所有異物的高度，存在劃傷掩模板的風險。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種基板異物檢測裝置及曝光機，用于快速地、準確地檢測基板上異物高度是否異常，進而減少基板上異物劃傷掩模板的風險。

為了實現上述目的，本實用新型提供以下技術方案：

一種基板異物檢測裝置，包括：

平行設置的第一導軌和第二導軌；

滑動裝配在所述第一導軌上的信號發射器；

滑動裝配在所述第二導軌上且與所述信號發射器位置相對的信號接收器；

傳動連接所述信號發射器，用于驅動所述信號發射器沿所述第一導軌移動的第一馬達；

傳動連接所述信號接收器，用于驅動所述信號接收器沿所述第二導軌移動的第二馬達；

信號連接所述信號發射器、信號接收器、第一馬達和第二馬達的控制裝置，用于控制所述第一馬達和第二馬達驅動所述信號發射器和信號接收器同步移動，并控制所述信號發射器向所述信號接收器發射掃描信號，當所述信號接收器沒有接收到掃描信號時，所述控制裝置發出基板上異物高度異常的警報信息。

優選地，上述基板異物檢測裝置，還包括：滑動裝配在所述第一導軌上的第一滑座，滑動裝配在所述第二導軌上的第二滑座；其中，

所述信號發射器固定安裝在所述第一滑座上，所述第一馬達與所述第一滑座傳動連接；

所述信號接收器固定安裝在所述第二滑座上，所述第二馬達與所述第二滑座傳動連接。

較佳地，所述第一滑座具有延伸方向與所述第一導軌垂直的第三導軌，所述第二滑座具有延伸方向與所述第二導軌垂直的第四導軌。

優選地，所述信號發射器固定安裝在所述第三導軌上，且所述信號發射器相對于所述第一導軌的高度可調；

所述信號接收器固定安裝在所述第四導軌上，且所述信號接收器相對于所述第二導軌的高度可調。

優選地，所述信號發射器滑動裝配在所述第三導軌上，所述信號接收器滑動裝配在所述第四導軌上，還包括：

與所述信號發射器傳動連接用于驅動所述信號發射器沿所述第三導軌移動的第三馬達；

與所述信號接收器傳動連接用于驅動所述信號接收器沿所述第四導軌移動的第四馬達。

優選地，所述控制裝置信號連接所述第三馬達和第四馬達，用于控制所述第三馬達和第四馬達驅動所述信號發射器和信號接收器同步移動。

優選地，所述第三導軌具有刻度標尺，所述第四導軌具有刻度標尺。

優選地，所述信號發射器為激光發射器，所述信號接收器為激光接收器。

進一步地，上述基板異物檢測裝置還包括：與所述控制裝置信號連接用于拍攝基板上異物的拍照系統，所述拍照系統包括：至少一個鏡頭和至少一個光照燈。

本實用新型還提供了一種曝光機，包括以上任一所述的基板異物檢測裝置。