[實用新型]一種大氣壓微波等離子體炬裝置有效
| 申請號： | 201220669183.2 | 申請日： | 2012-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN202979451U | 公開（公告）日： | 2013-06-05 |
| 發明（設計）人： | 劉明海;周啟燕;陳兆權;程莉莉;騰云;鄭振 | 申請（專利權）人： | 華中科技大學 |
| 主分類號： | H05H1/30 | 分類號： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 華中科技大學專利中心 42201 | 代理人： | 朱仁玲 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 大氣壓 微波 等離子體 裝置 | ||
1.一種大氣壓微波等離子體炬裝置，該裝置包括微波功率單元（1）、波導（2）和噴嘴（3），其特征在于：
所述微波功率單元（1）用于將直流電場中取得的直流能量轉換成微波能量，并輸出至波導（2）；
所述波導（2）呈兩端寬、中間窄的對稱結構，其一端與微波功率單元（1）相連用于引導傳輸入射的微波，另外一端設置有短路活塞（5），并通過該短路活塞的滑動來控制電場強度的分布；
所述噴嘴（3）沿著豎直方向插入在波導（2）的中央位置，其一端通過軟管與裝有介質氣體的氣瓶相連，另外一端用于介質氣體在放電后產生等離子體炬。
2.如權利要求1所述的大氣壓微波等離子體炬裝置，其特征在于，所述噴嘴（3）包括豎直貫穿波導（2）中央位置的中空石英玻璃管（6）、設置在該中空石英玻璃管外側（6）且位于波導（2）上側的金屬套筒（7），以及同軸設置在該中空石英玻璃管（6）內部的內導體（8）。
3.如權利要求1或2所述的大氣壓微波等離子體炬裝置，其特征在于，所述微波功率單元（1）包括微波連續源和磁控管，其中微波功率源的頻率為2.45GHz，功率在1000W以下。
4.如權利要求3所述的大氣壓微波等離子體炬裝置，其特征在于，所述微波功率源的功率為20W～900W。
5.如權利要求3所述的大氣壓微波等離子體炬裝置，其特征在于，所述介質氣體為氬氣、氮氣或氧氣。
6.如權利要求3所述的大氣壓微波等離子體炬裝置，其特征在于，所述同軸設置在中空石英玻璃管（6）內部的內導體（8）為銅絲。
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