[實(shí)用新型]一種基于電容讀出的微機(jī)電電流傳感裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201220668760.6 | 申請(qǐng)日: | 2012-12-04 |
| 公開(公告)號(hào): | CN202939208U | 公開(公告)日: | 2013-05-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張渤;賈澎濤 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 西安科技大學(xué) |
| 主分類號(hào): | G01R19/00 | 分類號(hào): | G01R19/00;B81B3/00 |
| 代理公司: | 西安文盛專利代理有限公司 61100 | 代理人: | 彭冬英 |
| 地址: | 710054 陜西省*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 基于 電容 讀出 微機(jī) 電流 傳感 裝置 | ||
1.一種基于電容讀出的微機(jī)電電流傳感裝置,包括上、下層基底(1)、固定電極(2)、可動(dòng)電極(3)、磁感應(yīng)材料(4)和質(zhì)量塊與梁(5),其特征在于:上、下層基底(1)內(nèi)腔設(shè)有固定電極(2),上、下層基底(1)之間設(shè)有質(zhì)量塊與梁(5),所述的質(zhì)量塊與梁(5)由中心質(zhì)量塊與四角的X型微形梁構(gòu)成,質(zhì)量塊與梁(5)上設(shè)有磁感應(yīng)材料(4)和可動(dòng)電極(3),上、下基底(1)鍵合連接。
2.如權(quán)利要求1所述的基于電容讀出的微機(jī)電電流傳感裝置,其特征在于:固定電極(2)上設(shè)有阻擋器(6)。
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