[實用新型]硅晶片分片裝置有效
| 申請號： | 201220667838.2 | 申請日： | 2012-12-07 |
| 公開（公告）號： | CN202983865U | 公開（公告）日： | 2013-06-12 |
| 發明（設計）人： | 盧森景;王相軍;周道全 | 申請（專利權）人： | 上海釜川超聲波科技有限公司 |
| 主分類號： | B03B5/68 | 分類號： | B03B5/68 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201808 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶片 分片 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅晶片分片裝置，包括液體恒壓輸送控制器、增壓泵、輸送管道、分片槽和液壓噴嘴，增壓泵通過輸送管道分別與分片槽出水口和液體恒壓輸送控制器輸入端相連，液體恒壓輸送控制器的輸出端與液壓噴嘴連接，其特征在于：分片槽內灌注液體，液壓噴嘴位于分片槽內，液壓噴嘴噴出的液體壓力恒定，液壓噴嘴為垂直排列，液壓噴嘴有三組，三組液壓噴嘴噴射角度不同，兩側的液壓噴嘴為水平噴射，中間一組以15o~30o傾角向上噴射。
2.根據權利要求1所述的硅晶片分片裝置，其特征在于：分片槽內充滿液體，硅晶片分離在液體中進行。
3.根據權利要求1所述的硅晶片分片裝置，其特征在于：輸送管道上裝有液體恒壓輸送控制器。
4.根據權利要求3所述的硅晶片分片裝置，其特征在于：液體恒壓輸送控制器的輸出壓力可調節。?
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