[實用新型]硅片分片機的升降機構

有效

• 申請號: 201220667829.3
• 申請日: 2012-12-07
• 公開（公告）號: CN202948963U
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 盧森景;王相軍;周道全
• 申請（專利權）人: 上海釜川超聲波科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片分片機的升降機構，由底座、機架、電機、滑軌、滑塊、絲桿、連接板、光軸和硅片托架連接構成，其特征在于：所述的電機豎置固定安裝于底座一端的中心，其轉軸穿過底座的通孔后露出底座的背面，所述的機架豎置固定安裝在底座的另一端，機架的兩邊設有一對滑軌及與之配套的滑塊，所述兩邊的滑塊連接連接板，所述連接板的外面連接光軸的一端，所述光軸的另一端活動連接硅片托架，該硅片托架能夠作360°水平旋轉，所述連接板的里面設有絲母，所述機架上下兩端各連接一絲桿座，所述兩根絲桿座設有同軸心的軸承，所述絲桿的兩端分別穿過并連接軸孔，其中絲桿的下端穿過底座的通孔后露出底座的背面，并通過同步帶連接電機的轉軸，該絲桿并且與連接板里面的絲母配合。

2.根據權利要求1所述的一種硅片分片機的升降機構，其特征在于：所述的連接板通過光軸座連接光軸。

3.根據權利要求1所述的一種硅片分片機的升降機構，其特征在于：所述底座的兩端設有對稱的安裝孔。