[實用新型]一種槽式硅片清洗機及其拋動架

有效

• 申請號: 201220667603.3
• 申請日: 2012-12-05
• 公開（公告）號: CN202962962U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 梁宏健;朱峰;田歡
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種槽式硅片清洗機拋動架，包括用于與驅動裝置相連的連接法蘭（5）和料籃承載端，其特征在于，所述料籃承載端包括底面骨架（8）、頂面骨架（2）和設置于所述頂面骨架（2）和底面骨架（8）之間的縱向支撐柱（4），所述底面骨架（8）、頂面骨架（2）和縱向支撐柱（4）圍成料籃容納腔，且所述料籃容納腔的底面和側面上均包覆有過濾網（1）。

2.根據權利要求1所述的槽式硅片清洗機拋動架，其特征在于，所述料籃容納腔底面上設置有用于與料籃配合的托腳（7）。

3.根據權利要求1所述的槽式硅片清洗機拋動架，其特征在于，所述過濾網（1）可拆裝的設置于所述料籃容納腔的底面和側面上。

4.根據權利要求1所述的槽式硅片清洗機拋動架，其特征在于，所述過濾網（1）為不銹鋼過濾網，且所述過濾網（1）的網孔面積為8mm²-10mm²。

5.根據權利要求1所述的槽式硅片清洗機拋動架，其特征在于，還包括設置于所述料籃容納腔側面上且與所述料籃容納腔底面平行的氮氣管路（3），所述氮氣管路（3）上朝向所述料籃容納腔內部的一側設置有多個出氣孔（9）。

6.根據權利要求5所述的槽式硅片清洗機拋動架，其特征在于，所述料籃容納腔的底面為長方形，所述縱向支撐柱（4）為兩端封閉的鋼管，所述氮氣管路（3）的兩端分別與各自所在側面的縱向支撐柱（4）相連通，所述料籃容納腔的任意一個縱向支撐柱（4）上設置有氮氣入口（6）。

7.根據權利要求6所述的槽式硅片清洗機拋動架，其特征在于，所述出氣孔（9）沿所述氮氣管路（3）均勻設置，且相鄰兩個出氣孔（9）的距離不大于5mm。

8.一種槽式硅片清洗機，包括清洗槽和設置于所述清洗槽內的拋動架，其特征在于，所述拋動架為如權利要求1-7任意一項所述的拋動架。

9.根據權利要求8所述的槽式硅片清洗機，其特征在于，超聲波振板設置于所述清洗槽的底部或者側壁上。