[實用新型]載片籃及具有其的太陽能硅片清洗裝置有效
| 申請號: | 201220665471.0 | 申請日: | 2012-12-04 |
| 公開(公告)號: | CN202957228U | 公開(公告)日: | 2013-05-29 |
| 發明(設計)人: | 馬強 | 申請(專利權)人: | 英利能源(中國)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 吳貴明;張永明 |
| 地址: | 071051 河*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 載片籃 具有 太陽能 硅片 清洗 裝置 | ||
1.一種載片籃,包括圍欄(10)和與所述圍欄(10)底部相連接的多根支撐桿(20),其特征在于,所述載片籃還包括:
多根支撐扁條(30),與所述圍欄(10)底部相連接。
2.根據權利要求1所述的載片籃,其特征在于,所述支撐扁條(30)包括:
第一支撐扁條(31),所述支撐桿(20)設置在所述第一支撐扁條(31)的下端以支撐所述第一支撐扁條(31),所述第一支撐扁條(31)的兩端分別與所述圍欄(10)底部相連接并與所述支撐桿(20)相連接。
3.根據權利要求2所述的載片籃,其特征在于,所述第一支撐扁條(31)與所述支撐桿(20)相焊接。
4.根據權利要求2所述的載片籃,其特征在于,所述支撐扁條(30)還包括第二支撐扁條(32),所述第二支撐扁條(32)與所述第一支撐扁條(31)相交錯地設置,所述第二支撐扁條(32)的兩端分別與所述圍欄(10)底部相連接并與所述支撐桿(20)相平行地設置。
5.根據權利要求4所述的載片籃,其特征在于,所述第一支撐扁條(31)和所述第二支撐扁條(32)相焊接。
6.根據權利要求1所述的載片籃,其特征在于,所述支撐扁條(30)的橫截面為長方形。
7.根據權利要求1所述的載片籃,其特征在于,所述支撐扁條(30)為不銹鋼條。
8.根據權利要求1所述的載片籃,其特征在于,在所述圍欄(10)的兩端各具有兩個背離所述圍欄(10)延伸的用于與清洗機的機械手相連接的支桿(40)。
9.根據權利要求8所述的載片籃,其特征在于,在所述圍欄(10)的兩端各具有兩塊連接板(11),所述支桿(40)與所述連接板(11)相連接,所述支桿(40)通過所述連接板(11)與所述圍欄(10)相連接。
10.一種太陽能硅片清洗裝置,包括清洗機的機械手和與所述清洗機的機械手相連接的載片籃,其特征在于,所述載片籃為權利要求1至9中任一項所述的載片籃。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





