[實用新型]一種新型三氯氫硅合成爐

有效

• 申請號: 201220665071.X
• 申請日: 2012-12-06
• 公開（公告）號: CN202968139U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 梁進
• 申請（專利權）人: 樂山永祥硅業有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 方強

1.一種新型三氯氫硅合成爐，包括中間殼體（1）、上封頭（2）和下封頭（3），所述上封頭（2）和下封頭（3）分別通過法蘭與中間殼體的頂部和底部固定連接形成爐體，所述中間殼體（1）包括上部除塵段（4）和下部反應段（5）；所述上部除塵段（4）的頂部設置有金屬過濾器（6）；所述下部反應段（5）的長徑比為12:1，其特征在于：所述上部除塵段（4）的頂部還設置有反沖裝置。

2.根據權利要求1所述的一種新型三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述上部除塵段（4）截面積是下部反應段（5）截面積的5-8倍。

3.根據權利要求1所述的一種新型三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述下封頭內設有用于固定噴嘴的噴嘴管板，所述噴嘴管板上設有噴嘴，噴嘴伸入下部反應段內；所述下部反應段設有內換熱器和加熱器，所述內換熱器的換熱管分為內管和外管，所述外管的管端為對接焊縫形成錐形堵頭，所述堵頭的外直徑大于換熱管的外直徑。

4.根據權利要求1所述的一種新型三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述下部反應段的長度為3-4m，直徑為800-1000mm。

5.根據權利要求3所述的一種新型三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述加熱器為電磁感應加熱器。

6.根據權利要求3所述的一種新型三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述內管和外管采用整根鋼管彎制，內管的直徑10-20mm，外管的直徑30-40mm。

7.根據權利要求3所述的一種新型三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述錐形堵頭為實心塊堵頭。

8.根據權利要求1所述的一種新型三氯氫硅合成爐，其特征在于：所述上部除塵段（4）與下部反應段（5）的直徑比為3:1。