[實用新型]一種基于VUV燈電離源的靜電透鏡裝置

有效

• 申請號: 201220664219.8
• 申請日: 2012-12-05
• 公開（公告）號: CN202948899U
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 李海洋;趙無垛;陳平;花磊;陳文東
• 申請（專利權）人: 中國科學院大連化學物理研究所
• 主分類號: H01J49/06
• 分類號: H01J49/06;H01J49/04
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 馬馳

1.一種基于VUV燈電離源的靜電透鏡裝置，其特征在于：

包括二端開口的中空筒狀的電離區筒（1），于電離區筒（1）內沿軸向依次設置有離子聚焦透鏡（4）、skimmer電極（5）、離子傳導透鏡（6）和整形電極（11）；

于電離區筒（1）的中部徑向設有中部帶有通孔的隔板，隔板將電離區筒（1）分成上、下二個腔室，skimmer電極（5）放置于隔板上，skimmer電極（5）與隔板上的通孔同軸；

于電離區筒（1）的上開口端設有一蓋板(2)，蓋板(2)的中部設置有電離源的紫外光入射孔或入射窗；

于靠近上開口端的電離區筒（1）的側壁上設置有進氣口（12）；

于電離區筒（1）的下開口端設有一真空室（9），真空室（9）與電離區筒（1）相連接處設有通孔，真空室（9）通過通孔與電離區筒（1）的下開口端相連通；整形電極（11）覆蓋于真空室（9）的通孔上方；真空室（9）與外界的真空泵相連。

2.根據權利要求1所述的靜電透鏡裝置，其特征在于：

離子聚焦透鏡（4）由同軸設置的2片以上的圓孔狀電極構成，圓孔狀電極的軸截面為長方形、等腰梯形或“凸”字型；

離子傳導透鏡（6）由同軸設置的2片以上的圓孔狀電極構成，圓孔狀電極的軸截面為長方形；

整形電極（11）為圓孔狀電極，圓孔狀電極中心位置的小孔為離子通過孔，于整形電極（11）的電極板面上設置有軸向的通孔作為偏心位置的透氣孔。

3.根據權利要求1所述的靜電透鏡裝置，其特征在于：

所述的電離源的紫外光入射孔或入射窗、離子聚焦透鏡（4）、Skimmer電極（5）、離子傳導透鏡（6）、整形電極（11）均為同軸設置。

4.根據權利要求1所述的靜電透鏡裝置，其特征在于：

于遠離電離區筒（1）的紫外光入射孔或入射窗一側的蓋板（2）上設有用于放置電離源的電離源筒，電離源發出的紫外光光路通過紫外光入射孔或入射窗沿離子聚焦透鏡（4）的軸線傳遞，紫外光入射孔或入射窗與離子聚焦透鏡（4）間的區域為電離區（3）。

5.根據權利要求1所述的靜電透鏡裝置，其特征在于：

離子聚焦透鏡（4）置于電離區筒（1）的上腔室內；離子傳導透鏡（6）和整形電極（11）置于電離區筒（1）的下腔室內。

6.根據權利要求1所述的靜電透鏡裝置，其特征在于：

電離區筒（1）上開口端與蓋板通過第一密封圈（7）密封；skimmer電極（5）與隔板通過第二密封圈（8）密封；電離區筒（1）的下開口端與真空室（9）通過第三密封圈（10）密封；電離區筒（1）的上腔室和下腔室通過skimmer電極（5）中心軸線上的小孔相連通。

7.根據權利要求1所述的靜電透鏡裝置，其特征在于：

skimmer電極（5）為中空的圓柱狀結構，于圓柱的上端側壁上沿徑向設置有圓環狀凸臺，圓柱的中空部分的軸截面為等腰梯形，即圓柱的中心通孔從上至下徑向截面的內徑逐漸增大。

8.根據權利要求1所述的靜電透鏡裝置，其特征在于：

蓋板（2）上面的電離源筒內設置有電離源，氣體樣品通過進氣口（12）擴散到電離區（3）并被電離，在電場的作用下離子經過聚焦、調焦、整形后到達離子探測器；離子探測器通過導線與外部的信號分析儀相連接。