[實用新型]一種納米器件電學測試用鎢探針的制備裝置

有效

• 申請號: 201220663653.4
• 申請日: 2012-12-06
• 公開（公告）號: CN202989329U
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 吳幸;于開浩;孫立濤
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: C25F3/08
• 分類號: C25F3/08
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種納米器件電學測試用鎢探針的制備裝置，其特征在于：包括盛有電解液的電解槽、線性傳感器、馬達、支架和隔離管，所述線性傳感器固定在支架上，且通過馬達帶動；所述鎢絲與線性傳感器連接并能隨線性傳感器提升，該鎢絲作為陽極浸入電解液中；同時陰極也浸入電解液，所述隔離管套在陰極周圍，且兩端貫通，上端露出液面。

2.根據權利要求1所述納米器件電學測試用鎢探針的制備裝置，其特征在于：所述陰極和陽極之間設有能實現電流反向的反向偏壓電路，該反向偏壓電路，包括包括第一場效應管、第二場效應管、第三場效應管、第四場效應管、電流比較器、支路轉換器和限流電阻，所述四個場效應管的源極與襯底連接，所述第一場效應管和第二場效應管組成第一支路，所述第三場效應管和第四場效應管組成第二支路；所述第一場效應管的源極與第四場效應管的漏極連接后，再依次與限流電阻和鎢絲連接；所述第三場效應管的源極與第二場效應管的漏極連接后，再與不銹鋼絲連接；所述電流比較器檢測通過鎢絲的電流，當電流大于零時，控制支路轉換器切換到第一支路，此時第一場效應管和第二場效應管工作；當電流為零時，控制支路轉換器切換到第二支路，此時第三場效應管和第四場效應管工作。