[實用新型]一種新型藍寶石晶體生長爐籽晶伺服機構有效

申請號：	201220663362.5	申請日：	2012-12-04
公開（公告）號：	CN203049092U	公開（公告）日：	2013-07-10
發明（設計）人：	滑喜寶	申請（專利權）人：	蘇州工業園區杰士通真空技術有限公司
主分類號：	C30B29/20	分類號：	C30B29/20;C30B17/00
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	215000 江蘇省蘇州市工業***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種新型藍寶石晶體生長籽晶伺服機構
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【權利要求書】：

1.一種新型藍寶石晶體生長爐籽晶伺服機構，包括升降機構伺服電機，升降導軌，旋轉機構伺服電機，籽晶夾持機構和稱重系統，其特征在于，所述升降機構伺服電機采用變頻電機，轉速從0-30000rpm無級可調，所述升降導軌為絲杠結構，通過螺桿和螺母帶動升降系統其它部件運動，升降速率0-7000mm/h無級可調，所述旋轉機構伺服電機采用變頻電機，轉速從0-100rpm無級可調，所述籽晶夾持機構以鉬為材質，使用鍛造鉬棒加工而成，純度99.95％，是夾持籽晶的機構，所述稱重系統為一圓環形壓力傳感器，傳感器分辨率為0.01g，量程為0至200kg。

2.根據權利1所述一種新型藍寶石晶體生長爐籽晶伺服機構，其特征在于，所述旋轉機構伺服電機，籽晶夾持機構，稱重系統和連接裝置都放于升降系統上。

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