[實用新型]一種高真空多靶磁控濺射鍍膜機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220661549.1 | 申請日： | 2012-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN203012466U | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張偉;韓志平 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海米開羅那機電技術(shù)有限公司;北京米開羅那機電技術(shù)有限責(zé)任公司 |
| 主分類號： | G05B19/418 | 分類號： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201315 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 真空 磁控濺射 鍍膜 | ||
1.一種高真空多靶磁控濺射鍍膜機，其特征在于：它包括采集監(jiān)控計算機（1），該采集監(jiān)控計算機（1）通過以太網(wǎng)連接西門子S7-300系列315PLC主機（2），該S7-300系列315PLC主機（2）通過RS232串口連接低溫泵機組（4、5）；該S7-300系列315PLC主機（2）通過還通過PROFIBUS-DP現(xiàn)場總線分別連接作為從站的西門子分布I/O模塊組ET200M（6、7、8）、冷熱水機組S7-200系統(tǒng)（9、10）、濺射電源ASCENT（11、12、13、14、15、16）、濺射室門打開關(guān)閉變頻器MM420（17）、傾角電機變頻器MM420（18）、系統(tǒng)冷熱水循環(huán)水泵變頻器MM420（19、20）、濺射電源和低溫泵冷卻循環(huán)水泵變頻器MM420（21、22）、轉(zhuǎn)鼓驅(qū)動伺服電機控制器F5（23）、轉(zhuǎn)鼓角度編碼器OCD1（24）、傾角角度編碼器OCD2（25）、電解質(zhì)分析儀M300（26）、殘余氣體分析儀RGA（27）和鈦升華泵系統(tǒng)（28）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空多靶磁控濺射鍍膜機，其特征在于：該S7-300系列315PLC主機（2）還通過RS232串口連接UPS不間斷電源（3）。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高真空多靶磁控濺射鍍膜機，其特征在于：所述的采集監(jiān)控計算機通采用DELL計算機。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高真空多靶磁控濺射鍍膜機，其特征在于：所述的西門子分布I/O模塊組ET200M（6、7、8）作為從站安裝開關(guān)量輸入輸出模塊、模擬量輸入輸出模塊以及通信模塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高真空多靶磁控濺射鍍膜機，其特征在于：該開關(guān)量輸入模塊接開關(guān)、按鈕、行程開關(guān)或流量開關(guān)，開關(guān)量輸出模塊接電磁閥、接觸器、繼電器或指示燈，模擬量輸入模塊接電阻規(guī)、電離規(guī)、壓力傳感器、氣體質(zhì)量流量計或水流量傳感器，模擬量輸出模塊接氣體質(zhì)量流量計、功率調(diào)壓器或水流量傳感器。
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