[實用新型]鍵合管的疏通工具

有效

• 申請號: 201220660711.8
• 申請日: 2012-12-05
• 公開（公告）號: CN202910022U
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 馮武衛
• 申請（專利權）人: 浙江海洋學院
• 主分類號: B08B9/032
• 分類號: B08B9/032
• 代理公司: 寧波市鄞州甬致專利代理事務所(普通合伙) 33228
• 代理人: 李迎春

技術領域

本實用新型涉及鍵合工具領域，具體講是一種鍵合管的疏通工具。

背景技術

鍵合是指將兩片表面清潔、原子級平整的同質或異質半導體材料經表面清洗和活化處理，在一定條件下直接結合，通過范德華力、分子力甚至原子力使晶片鍵合成為一體的技術。鍵合管是一種鍵合工具，它設有一個進口大出口小的錐形孔。而錐形孔的出口端內徑小，使用過程中非常容易堵塞。傳統的疏通堵塞的方式，是利用被超聲振動裝置震動的鎢絲將其捅開，但由于錐形孔出口端內徑太小，一般只有幾十微米，故實際操作困難，而且，超聲振動裝置成本也高。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是，提供一種成本低、使用方便的鍵合管的疏通工具。??

本實用新型的技術解決方案是，提供一種具有以下結構的鍵合管的疏通工具，它包括一個橡膠軟管，橡膠軟管的后端設有一個球形充氣囊，橡膠軟管的前端經密封裝置密封套合在鍵合管的入口端。??

采用以上結構后，本實用新型鍵合管的疏通工具與現有技術相比，具有以下優點：?

當鍵合管的出口端被堵塞后，將橡膠軟管的前端與鍵合管的入口端密封套合，然后按壓球形沖氣囊，就能利用氣壓將鍵合管出口端的堵塞沖開，該疏通工具結構簡單、成本低廉，而且操作簡單，疏通堵塞的過程方便。

作為改進，密封裝置是指套合在橡膠軟管外的圓弧形卡箍，圓弧形卡箍的兩端設有兩塊帶通孔的連接板，兩連接板經螺釘緊固，這樣，該密封裝置結構簡單，裝配方便。

作為再改進，密封裝置是指兩個套合在橡膠軟管外的半圓弧卡箍，兩半圓弧卡箍閉合成整圓，每個半圓弧卡箍的兩端均設有帶通孔的連接板，每個半圓弧卡箍的連接板與另一個半圓弧卡箍對應的連接板螺接，這樣，該密封裝置結構也簡單，裝配也比較方便。

作為還改進，它還包括一個底板，底板上設有供鍵合管前端的錐頭插入的豎孔，底板底部設有與豎孔連通的收容腔，這樣，能將阻塞物收容在底板的收容腔內，使得環境整潔。

附圖說明

圖1是本實用新型的鍵合管的疏通工具的一種實施例的局部剖視結構示意圖。

圖2是圖1的A-A線的截面圖。

圖3是本實用新型的鍵合管的疏通工具的另一種實施例的局部剖視結構示意圖。

圖4是圖3的B-B線的截面圖。

圖中所示???1、橡膠軟管，2、球形充氣囊，3、鍵合管，3.1、錐頭，4、圓弧形卡箍，5、連接板，6、半圓弧卡箍，7、底板，8、豎孔，9、收容腔。???

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明。

如圖1、圖2所示，本實用新型鍵合管的疏通工具的一種實施例，它包括一個橡膠軟管1和底板7。橡膠軟管1的后端設有一個球形充氣囊2。橡膠軟管1的前端經密封裝置密封套合在鍵合管3的入口端，密封裝置是指套合在橡膠軟管1外的圓弧形卡箍4，圓弧形卡箍4的兩端設有兩塊帶通孔的連接板5，兩連接板5經螺釘緊固。底板7上設有供鍵合管3前端的錐頭3.1插入的豎孔8，底板7底部設有與豎孔8連通的收容腔9。

如圖3、圖4所示，本實用新型鍵合管的疏通工具的另一種實施例，它與上一個實施例的區別在于：密封裝置是指兩個套合在橡膠軟管1外的半圓弧卡箍6，兩半圓弧卡箍6閉合成整圓，每個半圓弧卡箍6的兩端均設有帶通孔的連接板5，每個半圓弧卡箍6的連接板5與另一個半圓弧卡箍6對應的連接板5螺接。