[實用新型]可在槽內填充氮氣的庫特勒濕法刻蝕新型蓋板有效
| 申請號： | 201220660383.1 | 申請日： | 2012-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN202936482U | 公開（公告）日： | 2013-05-15 |
| 發明（設計）人： | 許成德;陳冬維;肖培玉;閔祥波 | 申請（專利權）人： | 江蘇中宇光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/08 | 分類號： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務所 32237 | 代理人： | 賀翔 |
| 地址： | 221621 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 填充 氮氣 庫特勒 濕法 刻蝕 新型 蓋板 | ||
【權利要求書】：
1.一種可在槽內填充氮氣的庫特勒濕法刻蝕新型蓋板，包括蝕刻槽以及抽風管道,蝕刻槽內設有溶液，其特征在于：所述抽風管道為四根,并且相鄰兩抽風管道之間相互呈高低錯位,各抽風管道的管道口處于同一水平面,還包括填充管道,填充管道設置在蓋板上。
2.根據權利要求1所述的可在槽內填充氮氣的庫特勒濕法刻蝕新型蓋板，其特征在于：所述朝向溶液的管道口與溶液的液面距離為8cm。
3.根據權利要求1所述的可在槽內填充氮氣的庫特勒濕法刻蝕新型蓋板，其特征在于：所述填充管道為數個,并且呈橫向直線排列。
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