[實用新型]一種潔凈室

有效

• 申請號: 201220660331.4
• 申請日: 2012-12-04
• 公開（公告）號: CN203052919U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 楊政諭
• 申請（專利權）人: 亞翔系統集成科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: F24F12/00
• 分類號: F24F12/00
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒;陸金星

技術領域

本實用新型涉及一種潔凈室。

背景技術

潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。潔凈室最主要的作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造。因而目前在電子行業得到了廣泛應用。

現有的潔凈室主要包括潔凈空間、新風輸送系統和一般排氣系統（General?Exhaust）；由于潔凈空間內設有各種加工設備和輔助設備，這些設備在工作過程中會產生大量的廢氣及熱能，需要通過一般排氣系統排出潔凈室之外；而新風輸送系統則是給潔凈空間輸送潔凈的新風，以補充排出的空氣，從而保證潔凈空間內氣壓的平衡。

然而，由于新風輸送系統一般都是直接利用外部的大氣，因此得到的新風的溫度一般在16~18℃。而潔凈空間的溫度一般控制在23℃作用，因而需要對新風進行除濕或加濕、加熱，這顯然需要消耗大量的能源。另一方面，由一般排氣系統排出潔凈室之外的廢氣（一般可能含有微量污染物的廢氣）則具有較高的溫度（一般在35℃左右），而現有技術在中，這部分廢氣一般是通過一般排氣系統直接排到大氣中。

發明內容

本實用新型的發明目的是提供一種潔凈室。

為達到上述發明目的，本實用新型采用的技術方案是：一種潔凈室，包括潔凈空間、新風輸送系統和一般排氣系統，還設有溫度轉換裝置，溫度轉換裝置的一端與所述新風輸送系統熱連通，另一端與所述和一般排氣系統熱連通，使新風輸送系統和一般排氣系統之間產生熱量交換。

上文中，新風輸送系統內的新風和一般排氣系統內的廢氣之間是相互隔離的，即兩者是不接觸的；這是因為廢氣中可能含有污染物。

對于新風輸送系統和一般排氣系統而言，兩者都具有主管和支管，分布于潔凈室各處。所述溫度轉換裝置優選設于新風輸送系統和一般排氣系統的總管處，具體位置可以按實際情況確定及調整。

上述技術方案中，所述溫度轉換裝置為熱管或水循環系統。該溫度轉換裝置的作用是實現新風輸送系統和一般排氣系統之間的熱量交換，可以采用現有設備。

由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點：

1、本實用新型設計得到了一種新的潔凈室結構，通過設置了溫度轉換裝置，充分利用了一般排氣系統的熱能，并用來提高新風的送風溫度，從而實現了系統節能，具有積極的現實意義。

2、本發明的裝置結構簡單，易于制備，適于推廣應用。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例一中新風輸送系統和一般排氣系統熱量交換的示意圖。

其中：1、新風輸送系統；2、一般排氣系統；3、溫度轉換裝置。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述：

實施例一

參見圖1所示，一種潔凈室，包括潔凈空間、新風輸送系統1和一般排氣系統2，還設有溫度轉換裝置3，溫度轉換裝置的一端與所述新風輸送系統熱連通，另一端與所述和一般排氣系統熱連通，使新風輸送系統和一般排氣系統之間產生熱量交換。

上文中，新風輸送系統內的新風和一般排氣系統內的廢氣之間是相互隔離的，即兩者是不接觸的；這是因為廢氣中具有污染物。

對于新風輸送系統和一般排氣系統而言，兩者都具有主管和支管，分布于潔凈室各處。所述溫度轉換裝置優選設于新風輸送系統和一般排氣系統的總管處，具體位置可以按實際情況確定及調整。

所述溫度轉換裝置可以采用熱管或水循環系統。該溫度轉換裝置的作用是實現新風輸送系統和一般排氣系統之間的熱量交換，可以采用現有設備。