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[實用新型]一種新型高速脈沖閥控制器裝置有效

專利信息
申請號: 201220660322.5 申請日: 2012-12-04
公開(公告)號: CN203023592U 公開(公告)日: 2013-06-26
發明(設計)人: 唐紫超;任文峰 申請(專利權)人: 中國科學院大連化學物理研究所
主分類號: F16K31/02 分類號: F16K31/02
代理公司: 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001 代理人: 張晨
地址: 116023 *** 國省代碼: 遼寧;21
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 新型 高速 脈沖閥 控制器 裝置
【說明書】:

技術領域

本實用新型屬于氣壓控制技術領域,具體涉及一種新型高速脈沖閥控制器裝置。

背景技術

在很多物理實驗儀器中需要將樣品的載氣以很窄的高壓氣體脈沖(約50-100uS)釋放到真空腔體里,因此,除了需要高速的電磁閥以外還需要與之匹配的高速脈沖控制器。目前,高速脈沖控制器多由國外公司生產,結構復雜,價格較高,且維護較難,使用壽命短。

發明內容

為了克服現有技術存在的缺陷,本實用新型的目的是一種新型高速脈沖閥控制器裝置,本實用新型成本低廉、結構簡單、維護成本低。

本實用新型提供了一種新型高速脈沖閥控制器裝置,該控制器裝置由信號發生器、信號處理單元、氣壓傳感器信號放大調節單元、高速脈沖閥組成;信號處理單元接受來自于信號發生器的觸發信號,然后使用單片機對觸發信號做延遲和脈寬控制,精度可達10ns,最后經過放大器放大輸出給高速脈沖閥,輸出有氣壓-電壓負反饋電路和限流保護電路。

本實用新型提供的新型高速脈沖閥控制器裝置,利用單片機對觸發信號進行數字處理,有氣壓負反饋功能,輸出電壓可控。

本實用新型的有益效果是:本實用新型裝置能使高速脈沖閥內的氣體脈沖無波動,增加實驗結果的準確性,結構簡單,制造成本低。

附圖說明

圖1是本實用新型一種新型高速脈沖閥控制器裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明。

如圖1所示,本實用新型一種新型高速脈沖閥控制器裝置,本儀器接受外部的觸發信號,在對觸發信號進行延遲和脈寬控制后經過放大器放大輸出給高速脈沖閥。系統設計有一套氣壓-電壓負反饋電路,能夠根據當前的供給氣壓適當微調脈沖閥輸出的電壓,已達到穩定輸出氣量的目的。當輸入氣壓降低時,輸出電壓調高,反之調低。脈沖閥的開啟速度和開啟時間即得到改變。

本實用新型的有益效果是:1,本實用新型裝置采用單片機對觸發信號進行數字的時序控制,大大提高了時序精度和縮小了誤差的范圍;2,本實用新型裝置能使高速脈沖閥內的氣體脈沖無波動,增加實驗結果的準確性,結構簡單,制造成本低。

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