[實用新型]一種石英支架有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220655546.7 | 申請日： | 2012-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN203013693U | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李洋 | 申請（專利權(quán)）人： | 茂迪（蘇州）新能源有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務(wù)所 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 215300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 石英 支架 | ||
1.一種石英支架，其特征在于，至少包括：
間隔置于第一平面上的第一側(cè)板及第二側(cè)板；連接于所述第一側(cè)板及第二側(cè)板之間的至少兩個相互平行的橫桿，且各該橫桿與所述第一平面呈預(yù)設(shè)角度傾斜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英支架，其特征在于：所述第一平面平行于水平面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英支架，其特征在于：所述預(yù)設(shè)角度為0.5~2度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石英支架，其特征在于：所述預(yù)設(shè)角度為1度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英支架，其特征在于：還包括兩片平板，分別裝設(shè)于所述第一側(cè)板及第二側(cè)板的頂部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英支架，其特征在于：所述第一側(cè)板及第二側(cè)板上具有與各該橫桿對應(yīng)的卡槽，各該橫桿通過各該卡槽卡接于所述第一側(cè)板及第二側(cè)板。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英支架，其特征在于：所述第一側(cè)板、第二側(cè)板與各該橫桿以高溫?zé)Y(jié)的方式固定連接。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
