[實用新型]窄線寬準分子激光器有效
| 申請號： | 201220652912.3 | 申請日： | 2012-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN203135202U | 公開（公告）日： | 2013-08-14 |
| 發明（設計）人： | 袁志軍;張海波;周軍;樓祺洪;魏運榮 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | H01S3/08 | 分類號： | H01S3/08;H01S3/10 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 201800 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 窄線寬 準分子激光 | ||
【權利要求書】：
1.一種窄線寬準分子激光器，其特征在于該激光器由棱鏡擴束系統（1）、紫外光柵（2）、紫外標準具（3）、放電腔(4)和輸出耦合鏡(5)組成，上述各部分的位置關系如下：?
準分子激光經棱鏡擴束系統(1)和紫外光柵(2)進行線寬壓窄，獲得的窄線寬激光在紫外光柵(2)和輸出耦合鏡(5)之間振蕩放大后，從所述的輸出耦合鏡(5)方向經垂直于光路放置的紫外標準具（3）輸出，所述的紫外光柵(2)的激光入射角與其衍射角相同。?
2.根據權利要求1所述的窄線寬準分子激光器，其特征在于所述的棱鏡擴束系統(1)由二個或三個棱鏡組成。?
3.根據權利要求1所述的窄線寬準分子激光器，其特征在于所述的棱鏡擴束系統(1)的棱鏡材料為紫外融石英或者氟化鈣，各個棱鏡的入射角度為68°～74°。?
4.根據權利要求1所述的窄線寬準分子激光器，其特征在于所述的紫外光柵(2)為中階梯光柵，紫外光柵的衍射角為71°～82°。?
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