[實用新型]一種半導體功率器件有效
| 申請號: | 201220652041.5 | 申請日: | 2012-11-30 |
| 公開(公告)號: | CN203026509U | 公開(公告)日: | 2013-06-26 |
| 發明(設計)人: | 褚為利;朱陽軍;田曉麗;盧爍今;陸江 | 申請(專利權)人: | 中國科學院微電子研究所;江蘇中科君芯科技有限公司;江蘇物聯網研究發展中心 |
| 主分類號: | H01L29/06 | 分類號: | H01L29/06;H01L29/36 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 王寶筠 |
| 地址: | 100029 北京市*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體 功率 器件 | ||
1.一種半導體功率器件,其特征在于,包括:?
有源區、終端區及位于二者之間的主結,所述終端區包括終端結構,所述有源區包括基區,所述基區、主結、終端結構的摻雜類型相同,所述主結與所述有源區的基區同時形成,所述主結的結深與所述基區的結深相同,且所述主結的結深小于所述終端結構的結深。?
2.根據權利要求1所述的半導體功率器件,其特征在于,所述主結的結深為3μm~10μm,包括端點值。?
3.根據權利要求2所述的半導體功率器件,其特征在于,所述終端結構包括場限環。?
4.根據權利要求2所述的半導體功率器件,其特征在于,所述終端結構包括場限環和位于所述場限環上方的場板。?
5.根據權利要求3或4所述的半導體功率器件,其特征在于,所述場限環的結深為5μm~15μm,包括端點值。?
6.根據權利要求2所述的半導體功率器件,其特征在于,所述終端結構包括結終端延伸結構,所述結終端延伸結構的結深為5μm~15μm,所述結終端延伸結構的寬度為100μm~1500μm,包括端點值。?
7.根據權利要求3、4或6所述的半導體功率器件,其特征在于,所述終端結構還包括位于終端區邊緣區域的場截止環。?
8.根據權利要求3、4或6所述的半導體功率器件,其特征在于,所述半導體功率器件還包括位于主結上方的場板。?
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