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[實用新型]一種半導體功率器件有效

專利信息
申請號: 201220652041.5 申請日: 2012-11-30
公開(公告)號: CN203026509U 公開(公告)日: 2013-06-26
發明(設計)人: 褚為利;朱陽軍;田曉麗;盧爍今;陸江 申請(專利權)人: 中國科學院微電子研究所;江蘇中科君芯科技有限公司;江蘇物聯網研究發展中心
主分類號: H01L29/06 分類號: H01L29/06;H01L29/36
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 王寶筠
地址: 100029 北京市*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 半導體 功率 器件
【權利要求書】:

1.一種半導體功率器件,其特征在于,包括:?

有源區、終端區及位于二者之間的主結,所述終端區包括終端結構,所述有源區包括基區,所述基區、主結、終端結構的摻雜類型相同,所述主結與所述有源區的基區同時形成,所述主結的結深與所述基區的結深相同,且所述主結的結深小于所述終端結構的結深。?

2.根據權利要求1所述的半導體功率器件,其特征在于,所述主結的結深為3μm~10μm,包括端點值。?

3.根據權利要求2所述的半導體功率器件,其特征在于,所述終端結構包括場限環。?

4.根據權利要求2所述的半導體功率器件,其特征在于,所述終端結構包括場限環和位于所述場限環上方的場板。?

5.根據權利要求3或4所述的半導體功率器件,其特征在于,所述場限環的結深為5μm~15μm,包括端點值。?

6.根據權利要求2所述的半導體功率器件,其特征在于,所述終端結構包括結終端延伸結構,所述結終端延伸結構的結深為5μm~15μm,所述結終端延伸結構的寬度為100μm~1500μm,包括端點值。?

7.根據權利要求3、4或6所述的半導體功率器件,其特征在于,所述終端結構還包括位于終端區邊緣區域的場截止環。?

8.根據權利要求3、4或6所述的半導體功率器件,其特征在于,所述半導體功率器件還包括位于主結上方的場板。?

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