[實用新型]一種高靈敏的應力傳感器

有效

• 申請號: 201220650556.1
• 申請日: 2012-11-20
• 公開（公告）號: CN202928731U
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 林志娟
• 申請（專利權）人: 林志娟
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18;G01L1/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

(一)技術領域

本實用新型涉及應力傳感器領域，尤其是涉及到一種高靈敏的應力傳感器。

(二)背景技術

應力傳感器就是探測力的傳感器，利用材料的物理性質在力的作用下發生變化的現象而制備。應力傳感器的種類甚多、傳統的測量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示，隨著微電子技術的發展，利用半導體材料的壓阻效應和良好的彈性，研制出半導體力敏傳感器，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優點。高靈敏度的應力傳感器一直是人們的追求，通過結構、材料的不斷優化，能夠不斷得到更高靈敏度的應力傳感器，應用于微力的探測。

(三)發明內容

本實用新型提供一種高靈敏的應力傳感器，采用傳統的材料，通過結構的設計，使得傳感器對應力更加敏感。本實用新型所采取的技術方案為，一種高靈敏的應力傳感器，包括電極、力敏材料、電源、電流計、螺桿，其中，電極為錐形，力敏材料夾在兩個電極之間，電極與電源、電流計相串聯；兩個電極兩端安裝有螺桿，能夠調節兩個電極之間的距離；力敏材料為石墨、硅。

本實用新型的電極為錐形，相同的力，能夠增加力敏材料所感受到的壓強，通過螺桿能將力敏材料調整到最靈敏的工作狀態，使得傳感器對應力更加敏感，適于微力的探測。

(四)附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖中：1電極、2力敏材料、3電源、4電流計、5螺桿。

(五)具體實施方式

以下結合附圖實施例對本實用新型作進一步詳細描述。

圖1為本實用新型的結構示意圖，電極1、力敏材料2、電源3、電流計4、螺桿5，其中，電極1為錐形，力敏材料2夾在兩個電極1之間，電極1與電源3、電流計4相串聯；兩個電極1兩端安裝有螺桿5，能夠調節兩個電極1之間的距離；力敏材料2為石墨、硅。本實用新型的電極1為錐形，相同的力，能夠增加力敏材料2所感受到的壓強，通過螺桿5能將力敏材料2調整到最靈敏的工作狀態，使得傳感器對應力更加敏感，適于微力的探測。