[實用新型]旋轉式真空鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201220647294.3
• 申請日: 2012-11-29
• 公開（公告）號: CN202968685U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 朱建明
• 申請（專利權）人: 肇慶市科潤真空設備有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/54
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 裘暉

1.旋轉式真空鍍膜裝置，其特征在于，包括多個呈圓周分布的真空室，各真空室組成的圓環中部設置高真空抽氣隔離室，各真空室和高真空抽氣隔離室的底部相通并設有轉盤，轉盤底部設有轉盤旋轉機構。

2.根據權利要求1所述旋轉式真空鍍膜裝置，其特征在于，所述多個真空室包括依次連接的預抽真空室、第一隔離室、鍍膜前高真空抽氣室、第二隔離室、濺射鍍膜室、第三隔離室、鍍膜后高真空抽氣室和第四隔離室；預抽真空室、第一隔離室、鍍膜前高真空抽氣室、第二隔離室、濺射鍍膜室、第三隔離室、鍍膜后高真空抽氣室和第四隔離室呈圓形分布排列于高真空抽氣隔離室的外周。

3.根據權利要求2所述旋轉式真空鍍膜裝置，其特征在于，所述預抽真空室上方通過裝卸片機構與工件輸送帶連接。

4.根據權利要求3所述旋轉式真空鍍膜裝置，其特征在于，所述裝卸片機構包括旋轉軸、旋轉軸旋轉氣缸、旋轉臂、吸盤升降氣缸和吸盤組件，旋轉軸豎直設置，旋轉軸旋轉氣缸設于旋轉軸底部，旋轉臂水平設于旋轉軸頂部，旋轉臂兩端分別設置吸盤升降氣缸，各吸盤升降氣缸的輸出端分別與吸盤組件連接；

吸盤組件包括工件轉換蓋板和真空吸盤，工件轉換蓋板固定于吸盤升降氣缸的輸出端，工件轉換蓋板上開有通孔，通孔處安裝真空吸盤；

位于旋轉臂一端的吸盤組件設于工件輸送帶上方，位于旋轉臂另一端的吸盤組件設于預抽真空室上方。

5.根據權利要求1所述旋轉式真空鍍膜裝置，其特征在于，所述轉盤上與各個真空室的相應處設有工件托盤，各個工件托盤底部分別設有托盤升降機構。

6.根據權利要求5所述旋轉式真空鍍膜裝置，其特征在于，所述托盤升降機構包括托盤升降氣缸，托盤升降氣缸固定于真空室底部，托盤升降氣缸的輸出端穿過轉盤并與托盤底部固定連接。

7.根據權利要求1所述旋轉式真空鍍膜裝置，其特征在于，所述轉盤旋轉機構包括相連接的轉盤旋轉電機和轉盤旋轉減速器，轉盤旋轉電機的輸出端與轉盤旋轉減速器連接，轉盤旋轉減速器的輸出端與轉盤中心連接。