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[實用新型]高導電率無氧銅化料裝置有效

專利信息
申請號: 201220645784.X 申請日: 2012-11-30
公開(公告)號: CN202925081U 公開(公告)日: 2013-05-08
發明(設計)人: 張海濤;張海霞;車永軍 申請(專利權)人: 錦州新世紀石英(集團)有限公司
主分類號: C22C1/02 分類號: C22C1/02;C22C9/00;F27D27/00
代理公司: 錦州遼西專利事務所 21225 代理人: 李輝
地址: 121000 遼寧*** 國省代碼: 遼寧;21
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摘要:
搜索關鍵詞: 導電 率無氧銅化料 裝置
【說明書】:

技術領域

本實用新型涉及一種高導電率無氧銅化料裝置。

背景技術

無氧銅是一種導電率高、耐蝕性、耐低溫、加工和焊接性能好的金屬材料,廣泛應用于濺射靶材、高端音響線和高端微電子器件連接線。國標TU0無氧銅和美標C10100無氧銅都是高級別的銅材,電導率為IACS?101%,剩余電阻率為200。在超級導體電纜、粒子加速器元器件等高端導線應用上,更高電導率的無氧銅成為主要研究方向。

銅電導率的提高與降低銅材內的氧氣含量、金屬雜質含量以及改善晶體結構有關,其中,對電導率影響最大的是氧氣和鐵雜質的含量。銅中鐵雜質可以通過電解來降低,然而,電解的過程易把氧氣帶入沉積的銅粉內;同時,氧氣在銅液的溶解度也很高,在熔化銅的過程中氧氣也很容易進入銅液中,導致鑄錠的銅材的含氧量很高,一般可達幾百的ppm,使電導率在IACS?100%以下。

目前,無氧銅脫氧提純方法是把高純電解銅放入高純石墨坩堝內,通過高頻感應加熱熔化至1350℃~1370℃,并在5×10-2Pa的真空環境下,保溫20min,使氣體和揮發性雜質充分揮發出來,得超高純銅鑄錠。該方法采用了真空加熱方式脫除氧氣和雜質,但是氧氣脫除速度慢,加熱揮發的時間受限(太長的揮發時間,會導致大量的銅被揮發掉),限制了真空脫氧和除雜的能力。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種脫氧速度快、真空脫氧除雜能力強的高導電率無氧銅化料裝置。

本實用新型的技術解決方案是:

一種高導電率無氧銅化料裝置,包括真空熔煉爐爐體,在真空熔煉爐爐體中設有主加熱器,所述真空熔煉爐爐體的容腔內設有石墨坩堝,所述石墨坩堝底部設有一個排液口,所述排液口上設有排液控制閥,其特殊之處是:所述石墨坩堝內懸置有可升降的石墨攪拌器。

在真空熔煉爐爐體內位于石墨坩堝的上方設有升降機構,所述的石墨攪拌器與升降機構相連。

所述石墨攪拌器是由篩板、設在篩板中心位置的升降桿組成。

在真空熔煉爐爐體中對應排液口位置設有輔助加熱器,以避免液態無氧銅在澆注過程中凝固。

本實用新型的有益效果:?

由于石墨坩堝中增設了石墨攪拌器,石墨攪拌器在升降的過程中使銅液與石墨充分接觸,增大了銅液中氧氣與石墨接觸面積,并且石墨攪拌器的篩板結構在攪拌過程中干擾銅液的表層張力,促進氣體快速離開銅液,脫氧和除雜能力強,實現了短時間高效率脫氧。

附圖說明

圖1是實用新型的結構示意圖;?

圖2是圖1中石墨攪拌器的俯視圖;

圖中:1-真空熔煉爐爐體,2-輔助加熱器,3-主加熱器,?4-石墨坩堝,401-排液口,5-石墨攪拌器,501-篩板,502-升降桿,6-升降機構,7-排液控制閥,8-拉錠裝置。

具體實施方式

如圖所示,該高導電率無氧銅化料裝置,包括真空熔煉爐爐體1,在真空熔煉爐爐體1中設有主加熱器3,在所述真空熔煉爐爐體1的容腔內設有石墨坩堝4,所述石墨坩堝4底部設有一個排液口401,所述排液口401上設有排液控制閥7,在真空熔煉爐爐體1中對應排液控制閥7位置設有輔助加熱器2。在所述石墨坩堝4內懸置有石墨攪拌器5,所述石墨攪拌器5是由篩板501、通過螺紋連接在篩板501表面中心位置的升降桿502組成,本實施例篩板501上的篩孔為圓孔(也可為方孔)。所述升降桿502與設在真空熔煉爐爐體1內并位于石墨坩堝4上方的升降機構6相連,通過升降機構6實現升降桿502的升降。

在生產時,?將清洗烘干后的純度>99.95%的電解銅塊裝入石墨坩堝4內,抽真空,當真空度達到10Pa,啟動主加熱器3,將銅塊加熱至900℃,并將真空熔煉爐抽真空至0.009Pa,保溫2h,充保護氣,將氣壓調整至1Pa,提高加熱溫度,在1200℃下使銅塊熔化成銅液;繼續提高真空度至0.009Pa,啟動石墨攪拌器5,石墨攪拌器5以20mm/min的速度下降進入銅液,到達石墨坩堝4底部后,以20mm/min的速度回升至液面,在銅液內上下往復運動,攪拌0.5h,得液態無氧銅;用輔助加熱器2將排液口401加熱到1350℃,打開排液控制閥7,將液態無氧銅澆注在真空熔煉爐爐體1內位于化料裝置下方的拉錠裝置8內,進行結晶和拉錠,得無氧銅錠;對無氧銅錠進行導電性測量,測量結果如表1所示。

表1

電導率RRR剩余電阻率 (4.2K)RRR剩余電阻率 (10K)RRR剩余電阻率 (20K)IACS102.4%500420310

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