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[實用新型]三氯氫硅除硼的濕氮氣體分布器有效

專利信息
申請號: 201220645564.7 申請日: 2012-11-30
公開(公告)號: CN202983258U 公開(公告)日: 2013-06-12
發明(設計)人: 李輝;賀珍俊 申請(專利權)人: 內蒙古神舟硅業有限責任公司
主分類號: B01D3/14 分類號: B01D3/14;C01B33/107
代理公司: 呼和浩特北方科力專利代理有限公司 15100 代理人: 王社
地址: 010070 內蒙古自治區*** 國省代碼: 內蒙古;15
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 三氯氫硅 氮氣 分布
【權利要求書】:

1.三氯氫硅除硼的濕氮氣體分布器,安裝在精餾塔內中間,包括進氣主管道、水平分導管,其特征在于:所述氣體主管道頂端為半球形分布頭,半球形分布頭分別與三支相同的水平分導管連通,每支水平分導管的端部各球面連通垂直噴管。

2.根據權利1要求所述三氯氫硅除硼的濕氮氣體分布器,其特征在于:所述氣體主管道直徑與精餾塔內徑之比小于1∶10。

3.根據權利1要求所述三氯氫硅除硼的濕氮氣體分布器,其特征在于:所述水平分導管與氣體主管道的直徑之比小于1∶3,三支水平分導管間夾角為120度。

4.根據權利1要求所述三氯氫硅除硼的濕氮氣體分布器,其特征在于:所述垂直噴管軸心位于距離精餾塔軸心半徑的1/2~3/5處,垂直噴管噴口直徑與垂直噴管長度之比小于1∶2。

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