[實用新型]一種用于單晶爐的四通式抽氣管道

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220642269.6
• 申請日: 2012-11-28
• 公開（公告）號: CN203007501U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 任丙彥;邊志堅;馬輝東;杜彥玲;李潤飛;李永哲;高琴偉;賈存龍
• 申請（專利權(quán)）人: 河北晶龍陽光設(shè)備有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 石家莊匯科專利商標(biāo)事務(wù)所 13115
• 代理人: 劉聞鐸

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型提供一種用于單晶爐的四通式抽氣管道，尤其是一種能快速清掃、安全釋壓的用于單晶爐的四通式抽氣管道。

背景技術(shù)

單晶爐在正常工作時爐體內(nèi)的環(huán)境相對于外界環(huán)境呈現(xiàn)為負(fù)壓、高溫狀態(tài)。爐體通過抽空管道、除塵器與真空泵相連來保證爐內(nèi)的負(fù)壓力。在整個單晶爐運行過程中爐內(nèi)硅材料因高溫融化、低壓產(chǎn)生的揮發(fā)物會沿氣流方向附著在抽空管道內(nèi)壁，長時間積累會影響抽氣速率與爐體真空度，抽空管道需要定期清掃保持潔凈與通暢。如果因意外情況導(dǎo)致冷卻水泄漏到爐體內(nèi)，在高溫下冷卻水會瞬間汽化轉(zhuǎn)為氣體，導(dǎo)致爐體內(nèi)的氣壓急劇增大到超過爐體外大氣壓，輕則可能導(dǎo)致晶體生長設(shè)備的損壞或其他危害晶體生長設(shè)備穩(wěn)定的情況，重則可能引起爆炸，危及人身安全。目前，單晶爐抽空管道形狀復(fù)雜，將管道拆下才能清掃所有死角，安全方面需要重新增加防爆裝置。因此，如何使管道內(nèi)部便于清掃，又能增加整體設(shè)備安全性成為亟待解決的問題。

實用新型內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實用新型提供一種能方便的清掃抽氣管道的每一個死角，本身具有安全釋壓的用于單晶爐的四通式抽氣管道。

本實用新型所采取的技術(shù)方案是：

一種用于單晶爐的四通式抽氣管道，包括管道主體，抽氣管道的出氣口與一個十字型的四通接頭的一個接口進行連接，四通接頭的與抽氣管道的出氣口呈90°分布的其中一個接口為出氣接口，四通接頭的其余兩個接口均為清掃口，兩個清掃口上分別設(shè)置有密封扣合裝置。

其中，所述的密封扣合裝置包括清掃口法蘭、蓋板、合頁和密封圈，清掃口法蘭配裝在清掃口上，清掃口法蘭的端口部覆蓋有蓋板，合頁的一個頁板固定在清掃口法蘭上，合頁的另一個頁板固定在蓋板的外緣上；密封圈設(shè)置在蓋板與清掃口法蘭的口部之間。

其中，蓋板與水平面之間為30°至75°夾角，清掃口法蘭的端口部的角度與蓋板的角度相配。

其中，抽氣管道為兩個，分別設(shè)置在爐體的相對兩側(cè)。

其中，抽氣管道為雙層密封結(jié)構(gòu)，夾層內(nèi)有循環(huán)冷卻水。

其中，蓋板與水平面之間為60°夾角。

本實用新型的有益效果是：

1、可以在不用拆卸單晶爐抽氣管道的情況下，打開蓋板，兩個方位清掃管道內(nèi)部，在爐壓高于設(shè)定值時自行釋放爐內(nèi)壓力增加單晶爐安全性。

2、蓋板與清掃口法蘭全部靠蓋板自身重量與清掃口法蘭緊密接觸，上方無約束機構(gòu)，在壓力達到設(shè)定范圍可自行彈起。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)安裝示意圖；

圖2為圖1的俯視圖；

圖3為本實用新型的密封扣合裝置的剖視圖；

圖4為本實用新型的密封扣合裝置的A向剖視圖；

圖中1.爐體，2.抽氣管道，3.蓋板，4.合頁軸，5.合頁，6.清掃口法蘭，7.爐體內(nèi)腔，8.密封圈，9.四通接頭。

具體實施方式

下面結(jié)合圖1至圖4對本實用新型做進一步詳細(xì)說明：

由圖1、圖2可知，一種用于單晶爐的四通式抽氣管道，抽氣管道2的進氣口與爐體1的爐體內(nèi)腔7相連通，抽氣管道2的出氣口與一個十字型的四通接頭9的一個接口進行連接，四通接頭9的與抽氣管道2的出氣口呈90°分布的其中一個接口為出氣接口，四通接頭9的其余兩個接口均為清掃口，兩個清掃口上分別設(shè)置有密封扣合裝置。抽氣管道2為兩個，分別設(shè)置在爐體1的相對兩側(cè)。抽氣管道為雙層密封結(jié)構(gòu)，夾層內(nèi)有循環(huán)冷卻水。

所述的密封扣合裝置包括清掃口法蘭6、蓋板3、合頁5和密封圈8，清掃口法蘭6配裝在清掃口上，清掃口法蘭6的端口部覆蓋有蓋板3，合頁8的一個頁板固定在清掃口法蘭6上，合頁5的另一個頁板固定在蓋板3的外緣上，合頁8的兩個頁板通過合頁軸4進行聯(lián)接；密封圈8設(shè)置在蓋板3與清掃口法蘭6的口部之間，板與水平面之間為30°至75°夾角，清掃口法蘭的端口部的角度與蓋板的角度相配。實施例中，蓋板與水平面之間為60°夾角。

工作時，在抽氣管道2與爐體內(nèi)腔7相通，抽氣管道2內(nèi)氣壓與爐體內(nèi)腔7內(nèi)氣壓相等，抽氣管道2的外界為一個大氣壓，爐體內(nèi)腔7內(nèi)的工作氣壓小于大氣壓，在正常工作的情況下蓋板3因大氣壓力和自重傾斜分力而自動封閉爐體內(nèi)部與外界大氣的聯(lián)系。

當(dāng)有意外情況爐體內(nèi)時，致使?fàn)t體內(nèi)腔壓力急劇升高，爐體內(nèi)的壓力逐漸高于外部大氣壓以及蓋板3的壓力時，蓋板3會受到一個沖力而向外側(cè)運動，爐體內(nèi)的氣體與外部的大氣接觸，爐體內(nèi)的氣體外溢導(dǎo)致爐體內(nèi)的壓力減小，壓力減小過程中，蓋板3靠自重分力向回運動，當(dāng)壓力減小到一定值時，蓋板3再次將爐體內(nèi)的氣體與大氣隔離。