[實(shí)用新型]多晶硅還原爐進(jìn)氣流量測(cè)量裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201220640168.5 | 申請(qǐng)日： | 2012-11-06 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN202915968U | 公開(kāi)（公告）日： | 2013-05-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張玉泉;劉建中;胡俊輝;薛濤;李波;葉軍;吳偉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01F7/00 | 分類(lèi)號(hào)： | G01F7/00;G01F1/34 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 712000 陜西*** | 國(guó)省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多晶 還原 爐進(jìn)氣 流量 測(cè)量 裝置 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1.一種多晶硅還原爐進(jìn)氣流量測(cè)量裝置，它包括大差壓壓力變送器(1)、小差壓壓力變送器(2)、三閥組(3)、溫度傳感器(4)、流量傳感器(5)及一套PLC系統(tǒng)構(gòu)成，其特征在于：大差壓壓力變送器(1)和小差壓壓力變送器(2)的正負(fù)壓側(cè)通過(guò)三閥組(3)后直接與流量傳感器(5)的引壓口連接，全部為正接，溫度傳感器(4)的兩路輸出分別連接到大差壓壓力變送器(1)和小差壓壓力變送器(2)的溫度補(bǔ)償端子。
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