[實用新型]微米級集成電路用球形硅微粉生產(chǎn)裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220635310.7 | 申請日： | 2012-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN202924750U | 公開（公告）日： | 2013-05-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 何書輝 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇中騰石英材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/18 | 分類號： | C01B33/18 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 221400 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微米 集成電路 球形 硅微粉 生產(chǎn) 裝置 | ||
1.?一種微米級集成電路用球形硅微粉生產(chǎn)裝置，其特征在于：所述的微米級集成電路用球形硅微粉生產(chǎn)裝置包括輸送系統(tǒng)、混合系統(tǒng)、加熱噴射系統(tǒng)、冷卻收集系統(tǒng)、除雜系統(tǒng)、干燥系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)，其中輸送系統(tǒng)連接著混合系統(tǒng)，混合系統(tǒng)連接著加熱噴射系統(tǒng)，加熱噴射系統(tǒng)連接著冷卻收集系統(tǒng)，冷卻收集系統(tǒng)連接著除雜系統(tǒng)，除雜系統(tǒng)連接著干燥系統(tǒng)，干燥系統(tǒng)連接著檢測系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微米級集成電路用球形硅微粉生產(chǎn)裝置，其特征在于：所述的輸送系統(tǒng)包括粉體輸送設(shè)備；混合系統(tǒng)包括氣固兩相流拉瓦爾噴管；加熱噴射系統(tǒng)包括氣體燃料高溫火焰噴射機；冷卻收集系統(tǒng)包括冷凍干燥機和收集器；除雜系統(tǒng)包括氣體分流機和超純水系統(tǒng)；干燥系統(tǒng)包括高速離心噴霧干燥機；檢測系統(tǒng)包括馬爾文激光粒度測試儀、拜耳光譜全元素分析儀、歐美克顆粒檢測儀和原子吸收分光光度計。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微米級集成電路用球形硅微粉生產(chǎn)裝置，其特征在于：所述的輸送設(shè)備連接著氣固兩相流拉瓦爾噴管，氣固兩相流拉瓦爾噴管設(shè)置有進料口，氣體燃料高溫火焰噴射機設(shè)置有進料口，氣固兩相流拉瓦爾噴管與氣體燃料高溫火焰噴射機之間設(shè)置有輸送機，冷凍干燥機設(shè)置有進料口，氣體燃料高溫火焰噴射機與冷凍干燥機之間設(shè)置有輸送機，氣體分流機設(shè)置有進料口，冷凍干燥機與氣體分流機之間設(shè)置有輸送機，收集器設(shè)置有進料口，冷凍干燥機與收集器直接設(shè)置有輸送機，氣體分流機同時連接著臥式沉降離心機和渦輪分級機配強力磁選機，高速離心噴霧干燥機設(shè)置有進料口，氣體分流機與高速離心噴霧干燥機之間設(shè)置有輸送機，氣體分流機與超純水系統(tǒng)之間設(shè)置有輸送機，馬爾文激光粒度測試儀通過USB與拜耳光譜全元素分析儀、歐美克顆粒檢測儀和原子吸收分光光度計連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微米級集成電路用球形硅微粉生產(chǎn)裝置，其特征在于：所述的輸送機為皮帶輸送機。
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