[實用新型]一種排風裝置

有效

• 申請號: 201220633584.2
• 申請日: 2012-11-26
• 公開（公告）號: CN203002725U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 王波雷;王銳廷;張豹;姬丹丹
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: B08B15/00
• 分類號: B08B15/00;B08B3/12
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國勝

1.一種排風裝置，其特征在于：包括底腔（3）、兆聲波裝置盛液槽（4）、兆聲波裝置盛液槽固定支架（5）、夾層（1）及排風調整單元（7），所述底腔（3）固定于所述夾層（1）頂部，所述兆聲波裝置盛液槽（4）通過兆聲波裝置盛液槽固定支架（5）固定于所述夾層（1）上，所述夾層（1）將整個工藝腔室的工藝區和電氣區分隔開，所述排風調整單元（7）與所述夾層（1）連接，用于調整工藝腔體內部排風流量、工藝腔體外部排風流量以及電氣區的排風流量。

2.根據權利要求1所述的排風裝置，其特征在于：所述夾層（1）的材質為具有耐酸堿腐蝕性的塑料，其包括頂板（101）、側板（102）、內側環（103）、底板（104）和主排風口（105），所述內側環（103）位于頂板（101）和底板（104）之間，所述主排風口（105）位于所述底板（104）上，且所述主排風口（105）的頂部高度高于底板（104）的頂部。

3.根據權利要求2所述的排風裝置，其特征在于：所述頂板（101）為凹槽狀結構，且其上設有排風孔（106）。

4.根據權利要求2所述的排風裝置，其特征在于：所述頂板（101）上還設有第一聯結孔（107）、第二聯結孔（108）、第三聯結孔（109）、第四聯結孔（110）及第五聯結孔（113），通過所述第一聯結孔（107）將夾層（1）與工藝區殼體（19）聯結，通過所述第二聯結孔（108）將夾層（1）與電氣區固定架（20）聯接，通過所述第三聯結孔（109）將夾層（1）與所述底腔（3）固定聯接，通過所述第四聯結孔（110）將兆聲波裝置固定于夾層頂板（101）上，通過所述第五聯結孔（113）將維修孔遮擋蓋（6）固定于夾層頂板（101）上。

5.根據權利要求2所述的排風裝置，其特征在于：所述底板（104）的頂部有斜度，一端為高位（114），另一端為低位（115），在低位（115）處設有排液口（116），用于將流至底部（104）的液體排走。

6.根據權利要求2所述的排風裝置，其特征在于：所述頂板（101）上設有第一通孔（111）及第二通孔（112），所述底板（104）上設有與所述第一通孔（111）及第二通孔（112）相對應的孔。

7.根據權利要求6所述的排風裝置，其特征在于：還包括噴淋臂（16，17，18）、噴淋臂遮擋環（2）及旋緊接頭（8），所述噴淋臂（16，17，18）穿過所述第一通孔（111）及底板（104）上相應的孔，并用所述噴淋臂遮擋環（2）密封，兆聲波裝置盛液槽（4）的供液管和排液管穿過所述第二通孔（112）及底板（104）上相應的孔，在貫穿處用所述旋緊接頭（8）密封。

8.根據權利要求1所述的排風裝置，其特征在于：所述排風調整單元（7）包括：夾層排風口連接管（9）、工藝腔體排風口聯接管（10）、排風管卡緊件（11）、夾層排風量調整機構（12）、工藝腔體排風量調整機構（13）、總排風腔體（14）及電氣區進風口排風風量調整板（15）；所述夾層排風口連接管（9）的一端通過所述工藝腔體排風口聯接管（10）與總排風腔體（14）聯接，另一端通過所述排風管卡緊件（11）與所述夾層（1）緊固聯接，所述夾層排風量調整機構（12）及工藝腔體排風量調整機構（13）設于所述工藝腔體排風口聯接管（10）進入總排風腔體（14）的通道上，所述電氣區進風口排風風量調整板（15）位于總排風腔體（14）的一側。

9.根據權利要求8所述的排風裝置，其特征在于：所述夾層排風量調整機構（12）、工藝腔體排風量調整機構（13）及電氣區進風口排風風量調整板（15）均可自動調整或手動調整排風量，調整范圍從全開到全閉。

10.根據權利要求2所述的排風裝置，其特征在于：所述底腔（3）上設有盛液槽（301）和緩沖腔（302），所述盛液槽（301）分為高位和低位，所述緩沖腔（302）上設有進風口（303），所述進風口（303）為環形，并圍繞底腔（3）的中心均布設置，且所述進風口（303）高于所述盛液槽（301）的低位，所述緩沖腔（302）底部設有用于腔體排風的排風口（304）和用于排放冷凝液體的排液口（305），所述排風口（304）頂部高度高于底板（104）的頂部。