[實(shí)用新型]特氣管路裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220624906.7
• 申請日: 2012-11-22
• 公開（公告）號: CN202954090U
• 公開（公告）日: 2013-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李智洋
• 申請（專利權(quán)）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 吳貴明;張永明

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象帶電沉積設(shè)備領(lǐng)域，具體而言，涉及一種特氣管路裝置。

背景技術(shù)

在PECVD設(shè)備生產(chǎn)過程中，需要特氣和微波，在高頻低壓的工藝環(huán)境和350度的高溫下將從管路通入的特氣（硅烷和氨氣）經(jīng)過微波打成等離子狀態(tài)，然后附著到硅片表面，完成工藝。

如圖1所示，支架2上設(shè)置有特氣管1，特氣管1上覆蓋著特氣槽4，用來保護(hù)特氣槽4覆蓋下特氣管1的部分避免氮化硅的沉積。特氣槽4的頂端彎折部上有與特氣管1的特氣孔位置排列一致的孔，正常情況下特氣槽4的頂端彎折部是與特氣管1上有特氣孔的表面緊貼，但由于長時(shí)間高溫變形，特氣槽4上的孔遠(yuǎn)離特氣管1上的特氣孔，使得特氣槽4保護(hù)特氣管1的工藝效果降低。

現(xiàn)有技術(shù)中的特氣管路裝置通過在特氣槽4的U型兩邊位置加塞凸點(diǎn)卡塊10來限制U型部分的張力，從而實(shí)現(xiàn)特氣槽4固定。平時(shí)維護(hù)時(shí)只是將受熱變形后的特氣槽4用外力敲打保持特氣槽4上的孔與特氣路1上特氣孔的位置對應(yīng)，無法達(dá)到正常的工藝效果。而且由于長時(shí)間的使用，特氣槽4變形嚴(yán)重，只能更換新特氣槽4，特氣槽4壽命急速縮減。現(xiàn)有技術(shù)中的特氣槽4的壽命一般只在3周左右。

其中，以上現(xiàn)有技術(shù)中的相關(guān)術(shù)語解釋如下所述，PECVD：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象帶電沉積，用于在硅片表面沉積一層起減反射和鈍化作用的氮化硅膜。特氣管1：用于在等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象帶電沉積中釋放特殊化學(xué)氣體，提供生成特氣等離子體的管道。特氣槽4：覆蓋在特氣管1表面的U型鋼結(jié)構(gòu)槽子，上面有與特氣孔位置排列一致的孔洞，安裝后可將特氣管上的特氣孔露出。凸點(diǎn)卡塊10：現(xiàn)有技術(shù)中固定特氣槽4的一種輔助材料，使用在U形特氣槽4的兩個(gè)側(cè)邊，靠限制特氣槽4的外張力來實(shí)現(xiàn)固定。

以上現(xiàn)有技術(shù)中凸點(diǎn)卡塊是限制特氣槽4的兩個(gè)側(cè)邊向外張，難以限制特氣槽4與特氣管1需要貼緊的頂端彎折部的受熱變形，從而特氣槽4在長期使用后，特氣槽4的頂端彎折部容易遠(yuǎn)離特氣管1，即原來特氣管1上的特氣孔與特氣槽4的孔對應(yīng)貼緊的部分遠(yuǎn)離，影響正常工藝效果。而且在特氣槽4的U形結(jié)構(gòu)兩端加入凸點(diǎn)卡塊10限制張力的特氣槽4的固定方式無法應(yīng)對因特氣槽4受熱之后的變形，特氣槽4的壽命縮短，影響正常工藝效果。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在提供一種特氣管路裝置，以達(dá)到限制特氣槽的與特氣管上特氣孔對應(yīng)的部分活動或變形的目的。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種特氣管路裝置，包括：特氣管、用于固定支撐特氣管的支架和覆蓋在特氣管表面的特氣槽，特氣槽設(shè)置有頂端彎折部，特氣管路裝置還包括卡接裝置和固定裝置，卡接裝置一端固定于支架，頂端彎折部設(shè)置有與卡接裝置配合的通孔，卡接裝置的另一端穿過通孔與固定裝置配合以限制頂端彎折部的活動或變形。

進(jìn)一步地，卡接裝置包括固定于支架上的鋼板，鋼板設(shè)置有與固定裝置配合的卡接孔。

進(jìn)一步地，鋼板部分從通孔穿出，且鋼板上的卡接孔至少部分位于頂端彎折部之上，使得固定裝置能夠穿過卡接孔與頂端彎折部遠(yuǎn)離支架的一側(cè)表面卡接固定。

進(jìn)一步地，固定裝置包括銷釘。

進(jìn)一步地，銷釘?shù)囊欢嗽O(shè)置有引導(dǎo)銷釘穿過卡接孔的錐形部。

進(jìn)一步地，鋼板與支架的底面垂直，卡接孔包括延伸方向與支架的底面垂直的長孔。

進(jìn)一步地，對應(yīng)于每根特氣管至少設(shè)置兩個(gè)卡接裝置。

進(jìn)一步地，每個(gè)卡接裝置與特氣管上的特氣孔對應(yīng)設(shè)置。

應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，設(shè)置卡接裝置和固定裝置限制特氣槽上的頂端彎折部，使特氣槽的頂端彎折部直接受力緊貼于特氣管上設(shè)置特氣孔的表面，限制特氣槽的活動或變形，防止特氣槽遠(yuǎn)離特氣管，延長特氣槽的使用時(shí)間，保證特氣均勻。

附圖說明

構(gòu)成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中特氣管路裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例中的特氣管路裝置的三維結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例中的特氣管路裝置的分解示意圖；

圖5為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例中的特氣管路裝置的鋼板結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例中的特氣管路裝置的銷釘結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式