[實用新型]同時生產三根硅芯的硅芯爐裝置

有效

• 申請號: 201220624024.0
• 申請日: 2012-11-21
• 公開（公告）號: CN202989345U
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 李棟;薛濤;尹敏;李波;張玉泉;王相君;何克周
• 申請（專利權）人: 陜西天宏硅材料有限責任公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一、技術領域

本實用新型涉及一種同時生產三根硅芯的硅芯爐裝置。

二、背景技術

單根組硅芯爐是早期用于生產多晶硅用硅芯的晶體區熔設備。硅芯是在還原過程中作為CVD載體的細硅棒，由于其無污染、純度高、損耗小、收率高等特點，使用區熔硅芯作為還原電子級多晶硅成為一種普遍的方法。但對于目前而言，單根組硅芯爐單位產量較低(只能同時生產一根)，在如今的硅芯區熔生長技術中已失去原有優勢。

三、實用新型的內容

本實用新型的目的是提出一種能夠同時生產三根硅芯的硅芯爐裝置。其能夠提高其生產效率，并顯著降低能耗。

本實用新型的目的是這樣來實現的：一種同時生產三根硅芯的硅芯爐裝置，它包括：線圈、籽晶轉盤、籽晶軸、籽晶盤、提拉機械手、籽晶、硅棒、籽晶夾頭、提拉定位槽、提拉定位銷、放置定位銷、設備端、內孔、中孔、水流槽、強化槽孔、放置定位槽、軌道、放置平臺構成，提拉機械手與設備端以螺紋相連，籽晶軸頭部懸掛并連接在提拉機械手上，提拉定位銷與提拉定位槽相對應，進行定位，籽晶軸的尾端用螺母與籽晶盤相連接固定，籽晶盤與三個籽晶夾頭用螺釘固定，籽晶安裝在籽晶夾頭上，線圈的法蘭與設備端以螺釘連接，組成高頻電回路及冷卻水回路，籽晶轉盤的中心孔與設備端用鍵和螺母進行定位緊固；

所述的線圈正盤面上有斜平面，背盤面上有直角臺階，線圈盤面上有120°均布排列三個內孔和預熱的中孔，均為通孔，正盤面上的孔面均為斜平面；強化槽孔與中孔相連為通孔，水流槽在線圈內部，與銅管及法蘭連通，構成冷卻水回路，接地端連接在線圈上，并有一通孔；

所述的籽晶轉盤的中心孔與設備端軸通過鍵槽相連，籽晶轉盤以此軸為中心進行旋轉；籽晶轉盤盤面上設有軌道及放置平臺，背盤面上有直角臺階，放置定位槽與籽晶軸上的放置定位銷相對應，軌道、放置定位槽為通孔，放置平臺為凹槽；

所述的籽晶軸頭端為臺錐體，臺錐體的側面有提拉定位銷，籽晶軸中端為圓柱體，圓柱體的側面設有放置定位銷，籽晶軸尾端為螺紋結構，通過螺母把籽晶盤固定在籽晶軸上；

所述的籽晶盤上有120°均布的三個夾頭螺孔，用螺釘與籽晶夾頭固定；

所述的提拉機械手中心通透，頂部有螺孔與設備端固定；底部有通孔為斜面，與籽晶軸頭端的臺錐體相對應，并設有提拉定位槽。

本實用新型能夠提高硅芯爐運行平穩性，大幅增加生產效率，并顯著降低能耗，本裝置的生產規格為3根／組，3組／爐。

四、附圖說明

附圖1為本實用新型的結構示意圖。

附圖2為本實用新型線圈的結構示意圖。

附圖3為本實用新型線圈的仰視圖。

附圖4為本實用新型線圈的B--B剖視圖。

附圖5為本實用新型籽晶轉盤的結構示意圖。

附圖6為本實用新型籽晶盤的結構示意圖。

其中：

1---線圈、2---籽晶轉盤、3---籽晶軸、4---籽晶盤、5---提拉機械手、6---籽晶、7---硅棒、8---籽晶夾頭、9---提拉定位槽、10---提拉定位銷、11---放置定位銷、12---螺母、13---設備端、14---內孔、15---中孔、16---水流槽、17---銅管、18---法蘭、19---接地端、20---強化槽孔、21---放置定位槽、22---軌道、23---放置平臺、24---夾頭螺孔。

五、具體實施方式

下面結合附圖及實施例來對本實用新型做進一步說細描述。

參照附圖，本實用新型一種同時生產三根硅芯的硅芯爐裝置，它包括：線圈1、籽晶轉盤2、籽晶軸3、籽晶盤4、提拉機械手5、籽晶6、硅棒7、籽晶夾頭8、提拉定位槽9、提拉定位銷10、放置定位銷11、設備端13、內孔14、中孔15、水流槽16、強化槽孔20、放置定位槽21、軌道22、放置平臺23構成，提拉機械手5與設備端13以螺紋相連，籽晶軸3頭部懸掛并連接在提拉機械手5上，提拉定位銷10與提拉定位槽9相對應，進行定位，籽晶軸3的尾端用螺母12與籽晶盤4相連接固定，籽晶盤4與三個籽晶夾頭8用螺釘固定，籽晶6安裝在籽晶夾頭8上，線圈1的法蘭18與設備端13以螺釘連接，組成高頻電回路及冷卻水回路，籽晶轉盤2的中心孔25與設備端13用鍵和螺母進行定位緊固；