[實用新型]一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀

有效

• 申請號: 201220620562.2
• 申請日: 2012-11-21
• 公開（公告）號: CN202886265U
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 倪祖榮
• 申請（專利權）人: 廈門大學
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17
• 代理公司: 廈門南強之路專利事務所 35200
• 代理人: 馬應森;劉勇

1.一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀，其特征在于設有微波系統、固體激光器、信號發生器和相移檢測電路；

微波系統設有壓控振蕩器、衰減器、諧振腔和檢波器，壓控振蕩器輸出端接衰減器輸入端，衰減器輸出端接諧振腔輸入端，在諧振腔端蓋上設有對稱的LC諧振式孔縫，諧振腔輸出端接檢波器輸入端，檢波器信號輸出端接相移檢測電路；

固體激光器設于所述諧振腔下方，固體激光器的激光光路對準所述LC諧振式孔縫；信號發生器的信號輸出端分別接固體激光器調制信號輸入端和相移檢測電路的信號輸入端；

相移檢測電路設有調制信號檢測電路、光電導信號檢測電路、矩形波生成電路、脈寬檢測電路和微處理器；

調制信號檢測電路和光電導信號檢測電路通過信號選擇開關分別連接，調制信號檢測電路設有依次連接的微分電路、過零方波轉換電路、相移電路和分頻電路；光電導信號檢測電路設有依次連接的放大電路、微分電路、過零方波轉換電路、相移電路和分頻電路；放大電路的輸入端通過信號選擇開關分別與調制信號檢測電路和光電導信號檢測電路連接；調制信號檢測電路的分頻電路輸出端接入矩形波生成電路輸入端，光電導信號檢測電路的分頻電路的輸出端也接入矩形波生成電路輸入端，矩形波生成電路輸出端接脈寬檢測電路輸入端，脈寬檢測電路輸出端接微處理器讀取信號輸入端，微處理器控制信號輸出端分別接所述調制信號檢測電路中的相移電路和分頻電路的控制信號輸入端，微處理器控制信號輸出端分別接所述光電導信號檢測電路中的放大電路、相移電路和分頻電路的控制信號輸入端。

2.如權利要求1所述的一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀，其特征在于所述檢波器采用晶體二極管檢波器。

3.如權利要求1所述的一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀，其特征在于所述信號發生器采用通用信號發生器。

4.如權利要求1所述的一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀，其特征在于所述脈寬檢測電路直接采用單片機中的定時器電路。

5.如權利要求1所述的一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀，其特征在于所述相移檢測電路設有單獨的殼體，相移檢測電路安裝于殼體中，殼體的前面板設有電源開關、數字顯示屏、調制信號輸入接頭、光電導信號輸入接頭及鍵盤；所述調制信號輸入接頭通過信號線接與所述信號發生器的信號輸出端連接，該信號發生器的信號輸出端輸出調制信號；所述光電導信號輸入接頭與所述檢波器的信號輸出端連接，該檢波器的信號輸出端輸出光電導信號；所述鍵盤包含復位、功能選擇及數字輸入按鍵。