[實(shí)用新型]體電導(dǎo)微通道板用半導(dǎo)體玻璃管成型裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220620420.6
• 申請(qǐng)日: 2012-11-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202953930U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾欲強(qiáng);易家良;潘守芹;晏潤(rùn)銘;王榮杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 常熟市信立磁業(yè)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C03B11/00
• 分類(lèi)號(hào): C03B11/00;C03B11/10;C03B11/16
• 代理公司: 常熟市常新專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 32113
• 代理人: 朱偉軍

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于特種玻璃制品成型機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種體電導(dǎo)微通道板用半導(dǎo)體玻璃管成型裝置。

背景技術(shù)

前述的體電導(dǎo)微通道板也稱(chēng)體積導(dǎo)電微通道板，而微通導(dǎo)板（英文為：Microchannel?Plate，簡(jiǎn)稱(chēng)MCP）是一種大面陣的高空間分辯的電子倍增探測(cè)器，并且具有甚高的時(shí)間分辯率，主要用于高性能夜視像增強(qiáng)器，并且廣泛用于各種科研領(lǐng)域。微通道板以玻璃薄片為載體，在玻璃薄片上以數(shù)微米至十幾乃至數(shù)十微米的空間周期以六角形周期排布孔徑比空間周期略小的微孔。通常，在一枚MCP上約有上百萬(wàn)個(gè)微通道。

前述的微通道是一種特殊光學(xué)器件，是一種先進(jìn)的具有傳輸、增強(qiáng)電子圖像功能的電子倍增器，具有體積小、重量輕、分辯率優(yōu)異、增益高、噪聲小和使用電壓低等優(yōu)點(diǎn)。微通道板的用途如光電倍增管、像增強(qiáng)器、微光電視、X光像增強(qiáng)器和高速示波管，等等。

半導(dǎo)體玻璃管是制作體電導(dǎo)微通道板的必備部件，其制造過(guò)程是將高溫的、軟化狀態(tài)的玻璃在冷卻的過(guò)程中形成一定幾何尺寸的玻璃管。玻璃的成型過(guò)程有兩項(xiàng)基本要求：一是玻璃在冷卻過(guò)程中不能析晶，另一是冷卻后得到的玻璃管符合要求的形狀與尺寸。

普通玻璃管是采用拉引并內(nèi)部吹氣的方法來(lái)制造，這就需要在玻璃成型的粘度范圍內(nèi)，有較大的對(duì)應(yīng)溫度范圍，也就是說(shuō)，玻璃需要足夠長(zhǎng)的時(shí)間來(lái)完成拉制玻璃管的操作。其中在“工作點(diǎn)”（約粘度10⁴泊）附近，玻璃停留時(shí)間最長(zhǎng)，而正是在粘度10⁴泊附近，玻璃的析晶傾向最為顯著。

在已公開(kāi)的中國(guó)專(zhuān)利文獻(xiàn)中雖然披露有玻璃管成型裝置的技術(shù)信息，例如授權(quán)公告號(hào)CN2183993Y推薦有“異型玻璃管成型裝置”，但其實(shí)質(zhì)內(nèi)容是吹制成型，而吹制成型需要對(duì)應(yīng)的溫度范圍較大，也就是說(shuō)玻璃管需要足夠長(zhǎng)的時(shí)間成型，玻璃因停留時(shí)間冗長(zhǎng)而在工作點(diǎn)即粘度10⁴泊附近析晶現(xiàn)象突出。又，由于體電導(dǎo)微通道板用半導(dǎo)體玻璃管的管壁較厚（通常在3㎜以上），因此采用吹制成型往往難以滿(mǎn)足要求。

半導(dǎo)體玻璃容易析晶，特別是半導(dǎo)體玻璃中的氧化磷組分容易揮發(fā)，造成表面化學(xué)組成變化，容易在“工作點(diǎn)”附近產(chǎn)生表面析晶。所以普通流行的拉制法制造玻璃管工藝，無(wú)法用來(lái)制造半導(dǎo)體玻璃管。尋求不在“工作點(diǎn)”溫度多做逗留的半導(dǎo)體玻璃管制造方法；即不采用吹制成型法而采用擠出成型法，在較低溫度開(kāi)始成型操作，整個(gè)成型過(guò)程低于“工作點(diǎn)”溫度是目前業(yè)界認(rèn)可的方法，但是擠出成型法需要依賴(lài)相應(yīng)的成型裝置，而在已公開(kāi)的文獻(xiàn)中未見(jiàn)諸有此類(lèi)成型裝置的技術(shù)啟示。

鑒于上述已有技術(shù)，本申請(qǐng)人作了積極而有益的嘗試，找到了解決問(wèn)題的辦法，下面將要介紹的技術(shù)方案便是在這種背景下產(chǎn)生的。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的任務(wù)在于提供一種有助于避免半導(dǎo)體玻璃中的氧化磷組分揮發(fā)而藉以防止玻璃表面化學(xué)組成變化、有利于避開(kāi)玻璃析晶工作點(diǎn)而藉以防止出現(xiàn)表面析晶、有益于增進(jìn)成型效率而藉以滿(mǎn)足工業(yè)化放大生產(chǎn)要求、有便于獲得管壁所需的壁厚而藉以滿(mǎn)足使用要求和有善于體現(xiàn)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)練而藉以方便操作的體電導(dǎo)微通道板用半導(dǎo)體玻璃管成型裝置。

本實(shí)用新型的任務(wù)是這樣來(lái)完成的，一種體電導(dǎo)微通道板用半導(dǎo)體玻璃管成型裝置，包括一機(jī)架；一具有爐膛的加熱爐，該加熱爐設(shè)置在所述機(jī)架的高度方向的近中部；一模具，該模具固定在加熱爐的底部，并且與所述爐膛相通；一用于將所述爐膛內(nèi)的半導(dǎo)體玻璃料朝著所述模具的方向驅(qū)趕的壓制機(jī)構(gòu)，該壓制機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述機(jī)架的頂部，并且還伸展到所述的爐膛內(nèi)；一用于將出自所述模具的半導(dǎo)體玻璃管朝著背離模具的方向牽引的玻璃管牽引機(jī)構(gòu)，該玻璃管牽引機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述機(jī)架上，并且對(duì)應(yīng)于所述加熱爐的下方。

在本實(shí)用新型的一個(gè)具體的實(shí)施例中，在所述加熱爐的外壁上敷設(shè)有加熱管，并且在加熱管外設(shè)置有保溫層。

在本實(shí)用新型的另一個(gè)具體的實(shí)施例中，在所述的加熱爐的側(cè)壁上并且位于加熱爐的高度方向的上部設(shè)置有一用于向所述爐膛內(nèi)引入半導(dǎo)體玻璃料的進(jìn)料管。

在本實(shí)用新型的又一個(gè)具體的實(shí)施例中，所述的模具的中央具有一模芯，并且在圍繞模芯的圓周方向以間隔狀態(tài)構(gòu)成有一組與外界相通的流道。