[實(shí)用新型]電子管碳化臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220620157.0
• 申請(qǐng)日: 2012-11-21
• 公開（公告）號(hào): CN202855694U
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾朝東;韓建軍;祝健;杜巖松
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都旭光電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H01J9/00
• 分類號(hào): H01J9/00
• 代理公司: 成都高遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 51222
• 代理人: 李高峽

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及電子元器件領(lǐng)域，尤其涉及一種電子管的碳化裝置。

背景技術(shù)

在電子管的生產(chǎn)過程中，碳化工序是決定電子管品質(zhì)的最為重要的工序。目前，雙工位電子管碳化臺(tái)都能基本滿足生產(chǎn)的需要，工序步驟都是：將欲成形的電子管芯拄安裝好，接好電極，進(jìn)行排氣，達(dá)到一定真空度的情況下，對(duì)電子管芯拄加載電壓，開始去氣及定形，最后將成形后的電子管芯拄，在一定真空度下通過加載電壓進(jìn)行碳化，達(dá)到工藝要求后取下。由于電子管芯柱碳化過程苯蒸氣與高閥的調(diào)節(jié)流量比例，需要靠操作者的經(jīng)驗(yàn)來調(diào)節(jié)，不能自動(dòng)量化控制，影響產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在提供電子管碳化臺(tái)，結(jié)構(gòu)簡單有效，提高了效率和產(chǎn)品的質(zhì)量，節(jié)約能耗。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

本實(shí)用新型公開的電子管碳化臺(tái)，工作臺(tái)固定在機(jī)架上面，機(jī)械泵、擴(kuò)散泵安裝在機(jī)架的底部，所述機(jī)械泵通過真空管路依次連接擴(kuò)散泵、冷阱、超高真空閥、碳化室，所述碳化室固定在工作臺(tái)下方；碳化室內(nèi)設(shè)有燈絲，還設(shè)有充苯閥接口；機(jī)械泵、前級(jí)閥、擴(kuò)散泵、冷阱、超高真空閥、燈絲都通過控制線路與PLC電氣控制系統(tǒng)連接。

進(jìn)一步的，所述擴(kuò)散泵、超高真空閥之間設(shè)有系統(tǒng)過渡裝置。

進(jìn)一步的，所述碳化室設(shè)有冷卻水夾層，所述冷卻水夾層的進(jìn)水口在下方，出水口在上方。

進(jìn)一步的，所述碳化室內(nèi)部設(shè)有測溫裝置，側(cè)面設(shè)有測溫觀察窗。

進(jìn)一步的，所述碳化室設(shè)有真空度測量接口。

進(jìn)一步的，所述機(jī)械泵與擴(kuò)散泵連接的真空管路中含有前級(jí)閥。

進(jìn)一步的，所述超高真空閥與碳化室連接的真空管路中設(shè)有預(yù)抽閥接口、放空閥接口。

進(jìn)一步的，所述電子管碳化臺(tái)有二套，二套電子管碳化臺(tái)的燈絲共用一個(gè)燈絲電源，組成雙工位電子管碳化臺(tái)。

本實(shí)用新型采用兩套機(jī)械泵和擴(kuò)散泵控制二個(gè)工位，一套燈絲電源同時(shí)控制二個(gè)工位，每個(gè)工位都設(shè)置有單獨(dú)的超高真空閥和風(fēng)冷空氣電控流量閥，使電子管碳化的質(zhì)量更穩(wěn)定，生產(chǎn)過程中，如果一個(gè)工位的電子管出現(xiàn)意外，電氣控制系統(tǒng)會(huì)立即關(guān)閉相應(yīng)的超高真空閥和風(fēng)冷空氣電控流量閥，二套真空系統(tǒng)獨(dú)立控制，結(jié)構(gòu)簡單有效，維護(hù)方便，自動(dòng)化程度高，節(jié)約能源，提高生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-擴(kuò)散泵，2-前級(jí)閥，3-冷阱，4-系統(tǒng)過渡裝置、5-超高真空閥、6-預(yù)抽閥、7–放空閥、8-真空測量口、9-測溫觀察窗、10-碳化室、11-冷卻水夾層，12-充苯閥接口，13-電子管，14-機(jī)架，15-工作臺(tái)，16-機(jī)械泵。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。

如圖1所示，本實(shí)用新型公開的電子管碳化臺(tái)，工作臺(tái)15固定在機(jī)架14上面，機(jī)械泵16、擴(kuò)散泵1安裝在機(jī)架14的底部，機(jī)械泵16通過真空管路依次連接擴(kuò)散泵1、冷阱3、超高真空閥5、碳化室10，碳化室10固定在工作臺(tái)15下方；碳化室10內(nèi)設(shè)有燈絲，還設(shè)有充苯閥接口12；機(jī)械泵16、擴(kuò)散泵1、前級(jí)閥2、冷阱3、超高真空閥5、燈絲都通過控制線路與PLC電氣控制系統(tǒng)連接。

進(jìn)一步的，擴(kuò)散泵1、超高真空閥5之間設(shè)有系統(tǒng)過渡裝置4。

進(jìn)一步的，碳化室10設(shè)有冷卻水夾層11，冷卻水夾層11的進(jìn)水口在下方，出水口在上方。

進(jìn)一步的，碳化室10內(nèi)部設(shè)有測溫裝置，側(cè)面設(shè)有測溫觀察窗9。

進(jìn)一步的，碳化室10設(shè)有真空度測量接口8。

進(jìn)一步的，機(jī)械泵16與擴(kuò)散泵1連接的真空管路中含有前級(jí)閥2。

進(jìn)一步的，超高真空閥5與碳化室10連接的真空管路中設(shè)有預(yù)抽閥接口6、放空閥接口7。

進(jìn)一步的，電子管碳化臺(tái)有二套，二套電子管碳化臺(tái)的燈絲共用一個(gè)燈絲電源，組成雙工位電子管碳化臺(tái)。

本實(shí)用新型的工作原理如下：將待碳化的電子管13安裝在工位上，啟動(dòng)電氣控制系統(tǒng)，由于電氣控制系統(tǒng)是PLC控制系統(tǒng)，所以電氣控制系統(tǒng)會(huì)按照預(yù)設(shè)的碳化程序自動(dòng)控制各部件工作。其工序是：啟動(dòng)機(jī)械16排氣，當(dāng)碳化室10內(nèi)到達(dá)真空度參數(shù)時(shí)，啟動(dòng)擴(kuò)散泵1，當(dāng)?shù)竭_(dá)高真空度參數(shù)時(shí)，待碳化的電子管13進(jìn)行加載燈絲電壓，當(dāng)排氣達(dá)到要求時(shí)，開始對(duì)電子管芯拄去氣及定形，使待碳化的電子管冷卻至預(yù)設(shè)溫度后，啟動(dòng)燈絲電源、對(duì)電子管芯拄進(jìn)行碳化。滿足工藝要求以后，封閉電子管，電氣控制系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)閉整個(gè)設(shè)備，即可取下碳化好的電子管。

當(dāng)然，本實(shí)用新型還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本實(shí)用新型精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員可根據(jù)本實(shí)用新型作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。