[實(shí)用新型]一種單晶截?cái)鄼C(jī)及其夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220619979.7
• 申請日: 2012-11-21
• 公開（公告）號: CN202964953U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊進(jìn);高敏;徐勇兵
• 申請（專利權(quán)）人: 晶科能源有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說是涉及一種單晶截?cái)鄼C(jī)及其夾具。

背景技術(shù)

生產(chǎn)單晶硅的方法通常是用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅，單晶硅棒的截面為圓形。為了方便滿足生產(chǎn)過程中硅片的外形、尺寸，需要截?cái)鄦尉Ч璋簦瑔尉Ч璋艚財(cái)嗍巧a(chǎn)半導(dǎo)體器件前期工序中不可缺少的一道步驟。目前，截?cái)鄦尉Ч璋舻氖乔懈顔尉Ч璋舻膶Ｓ迷O(shè)備——單晶截?cái)鄼C(jī)。

現(xiàn)在市場上的單晶硅棒截?cái)鄼C(jī)一般包括底座、傳動(dòng)軸部件、刀具以及單晶硅棒夾具，其中底座上設(shè)有用于放置單晶硅棒的工作臺面，夾具設(shè)置在工作臺面上。現(xiàn)有的單晶硅棒夾具的兩個(gè)擋板是類似U槽形的，如圖1所示，當(dāng)單晶截?cái)鄼C(jī)工作時(shí)，兩個(gè)夾具11、12置于工作臺13上，并與單晶硅棒14相切，固定住單晶硅棒用于切割。

然而現(xiàn)在單晶硅片成本較高，導(dǎo)致單晶硅片需求量下降，使單晶截?cái)鄼C(jī)出現(xiàn)大量的閑置和長期待機(jī)現(xiàn)象。隨著信息技術(shù)和太陽能產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，全球?qū)Χ嗑Ч璧男枨笤鲩L迅猛，市場供不應(yīng)求。因此，市場上需要更多的是能夠截?cái)喽嗑Ч鑹K的截?cái)鄼C(jī)，而專門生產(chǎn)用于截?cái)喽嗑Ч鑹K的截?cái)鄼C(jī)將會(huì)增大生產(chǎn)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種單晶截?cái)鄼C(jī)及其夾具，對現(xiàn)有的單晶截?cái)鄼C(jī)夾具進(jìn)行改進(jìn)，使其可以截?cái)喽嗑Ч鑹K，以解決現(xiàn)有技術(shù)中單晶截?cái)鄼C(jī)大量閑置導(dǎo)致的機(jī)臺長期待機(jī)的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種單晶截?cái)鄼C(jī)夾具，具有相互對稱的第一夾具本體和第二夾具本體，所述單晶截?cái)鄼C(jī)夾具還包括夾板，所述夾板包括固定連接的底托平板和切割擋板；

所述底托平板與切割擋板相互垂直；

所述底托平板下表面緊貼工作臺的工作面，所述切割擋板緊貼第一夾具本體的夾面，所述第一夾具本體靠近硅塊切割過程中，刀具最后接觸的硅塊表面。

優(yōu)選地，所述底托平板與所述切割擋板相接部分的長度相同。

優(yōu)選地，所述兩個(gè)夾具本體的下表面緊貼工作臺的工作面。

優(yōu)選地，所述夾板的材料為鐵。

一種單晶截?cái)鄼C(jī)，用于截?cái)喽嗑Ч鑹K，所述單晶截?cái)鄼C(jī)包括上述的單晶截?cái)鄼C(jī)夾具。

由上述的技術(shù)方案可知，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種單晶截?cái)鄼C(jī)夾具，該夾具在原有的單晶截?cái)鄼C(jī)的夾具本體中間增加了一個(gè)夾板，使得之前夾圓柱形單晶硅棒的其中一個(gè)夾面由曲面變成平面，從而可以固定截面為矩形的多晶硅塊，即將單晶截?cái)鄼C(jī)夾具改進(jìn)為可以夾多晶硅塊的夾具，而且夾板形狀簡單，生產(chǎn)成本低，容易實(shí)現(xiàn)上述改進(jìn)，同時(shí)，可以大量生產(chǎn)，便于制備。

同時(shí)，本實(shí)用新型提供了一種單晶截?cái)鄼C(jī)，其夾具包括夾具本體和夾板，該單晶截?cái)鄼C(jī)夾具的改進(jìn)能夠固定多晶硅塊，使改進(jìn)后的單晶截?cái)鄼C(jī)截?cái)喽嗑Ч鑹K，從而改變了單晶截?cái)鄼C(jī)臺大量閑置導(dǎo)致的機(jī)臺長期待機(jī)的現(xiàn)狀，同時(shí)避免了專門生產(chǎn)截?cái)喽嗑Ч鑹K的截?cái)鄼C(jī)，大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的單晶截?cái)鄼C(jī)夾具示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的核心思想示意圖；

圖3為本實(shí)用新型提供的一種單晶截?cái)鄼C(jī)夾具固定多晶硅塊的示意圖。

具體實(shí)施方式

正如背景技術(shù)部分所述，單晶硅的市場需求降低，相應(yīng)的導(dǎo)致單晶截?cái)鄼C(jī)大量閑置，造成機(jī)臺長期待機(jī)，而市場上多晶硅的需求量越來越大，可截?cái)喽嗑Ч鑹K的截?cái)鄼C(jī)需求量也越來越大，發(fā)明人在長期實(shí)踐中發(fā)現(xiàn)，出現(xiàn)這種情況的原因是單晶截?cái)鄼C(jī)只能相對穩(wěn)定的固定住截面為圓形的單晶硅棒，而不能穩(wěn)定地固定住截面為矩形的多晶硅塊，從而導(dǎo)致單晶截?cái)鄼C(jī)不能用于截?cái)喽嗑Ч鑹K，而專門生產(chǎn)多晶硅塊截?cái)鄼C(jī)，必然會(huì)增大生產(chǎn)成本。