[實用新型]同軸光源裝置

有效

• 申請號: 201220617387.1
• 申請日: 2012-11-21
• 公開（公告）號: CN202916496U
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 鄭閔中;高志豪
• 申請（專利權）人: 由田新技股份有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;F21V14/04;G01N21/88
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 何為;李宇

技術領域

本實用新型是一種同軸光源裝置，特別是一種可旋轉調整的同軸光源裝置。

背景技術

隨著科技的進步以及知識的進展，半導體或是面板等等科技產業亦發展迅速，而如何提升產品合格率，亦是每家廠商所關心的議題，無論是材料或是制程，甚或是檢驗，在每個過程中皆是環環相扣，而為了檢測出人眼難以窺見的缺陷，通常需要較為精密的檢測儀器協助檢測。

目前科技廠商在進行檢測時，大多數都是以同軸光源作為檢測的用，基此，同軸光源內部所裝設的光學鏡片，是通過維持一固定角度，例如，目前業界所用的角度皆為45度角，而用以反射光源照射。由于光學鏡片如以固定角度設置，其無法由其它角度照射檢測，以至于無法檢測是否有其它直射角度所看不見的瑕疵，因此，以已知的同軸光源檢測時，難以作全面的檢測。

再者，已知的同軸光源于光源照射時，因光學鏡片角度固定，因此，亦會造成多數的照射光源浪費，僅部分光源照射至所欲檢測的地方。此外，已知檢測亦容易有打光不足的現象，如要增加光源亮度，常需再增加額外光源。

因此，如何改良同軸光源裝置，使得其光源打光能以不同角度檢測，并達到節省光源的目的，為本案的發明人以及從事此相關行業的技術人員亟欲改善的課題。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是，針對現有技術不足，提供一種同軸光源裝置，其光源打光能以不同角度檢測，并達到節省光源的目的。

為解決上述技術問題，本實用新型同軸光源裝置，用于反射一光束至一待測物，其包含：

一本體，包含一入光面、一頂面及一底面；

一光源單體，位于該本體內，用以發射該光束；

一第一光學鏡片，可轉動地設置于該本體內，且鄰近于該頂面而與該頂面夾一第一夾角，用以反射該光束至該待測物；及

一第二光學鏡片，可轉動地設置于該本體內并與該第一光學鏡片之間呈一間距，且鄰近于該底面而與該底面夾一第二夾角，用以反射該光束至該待測物；?

其中，該光束經由該入光面入射，分別轉動該第一光學鏡片與該第二光學鏡片，使投射至該第一光學鏡片與該第二光學鏡片上的該光束進行一次反射后，由該底面射出并朝該待測物行進。

該第一光學鏡片往一第一方向轉動后，該第一夾角小于45度，且該第二光學鏡片往一第二方向轉動后，該第二夾角大于45度。

該第一光學鏡片往一第一方向轉動后，該第一夾角介于45~90度之間，且該第二光學鏡片往一第二方向轉動后，該第二夾角介于0~45度之間。

該本體更包含一第一轉軸及一第二轉軸，該第一轉軸用以連接并轉動該第一光學鏡片，且該第二轉軸用以連接并轉動該第二光學鏡片。

該本體更包含一第一滑槽及一第二滑槽，該第一滑槽用以設置該第一轉軸，使該第一轉軸沿該第一滑槽位移，且該第二滑槽用以設置該第二轉軸，使該第二轉軸沿該第二滑槽位移。

該第一轉軸更包含一第一夾槽，用以挾持該第一光學鏡片，且該第二轉軸更包含一第二夾槽，用以挾持該第二光學鏡片。

該第一光學鏡片與該第二光學鏡片為一分光鏡或一反射鏡。

所述的同軸光源裝置更包含兩偏光鏡，分別平行該第一光學鏡片與該第二光學鏡片，而設置于該第一光學鏡片與該第二光學鏡片上，使該光束先投射至該偏光鏡后，再行進至該第一光學鏡片與該第二光學鏡片。

所述的同軸光源裝置更包含一第三光學鏡片，設置于該間距，而位于該第一光學鏡片與該第二光學鏡片之間，用以反射該光束。該第三光學鏡片為一分光鏡。

本實用新型亦提出一種光學影像檢測裝置，包含：一載臺，用以承載待測物；一同軸光源裝置，設置于待測物的一側，包含：一本體，包含一入光面、一頂面及一底面；一光源單體，位于該本體內，用以發射光束；一第一光學鏡片，可轉動地設置于該本體內，且鄰近于頂面而與頂面夾一第一夾角，用以反射光束至該待測物；及一第二光學鏡片，可轉動地設置于該本體內并與該第一光學鏡片的間呈一間距，且鄰近于該底面而與該底面夾一第二夾角，用以反射光束至該待測物；及一影像感測組件，設置于該待測物的一側，用以取得該待測物的一影像；其中，該光束經由該入光面入射，分別轉動該第一光學鏡片與該第二光學鏡片，使投射至該第一光學鏡片與該第二光學鏡片上的光束進行一次反射后，由該底面射出并朝該待測物行進，使該影像感測組件經由該間距取得該待測物的影像。