[實(shí)用新型]一種超精密氣浮調(diào)整轉(zhuǎn)臺(tái)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201220617137.8 | 申請(qǐng)日： | 2012-11-20 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN203141227U | 公開(kāi)（公告）日： | 2013-08-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 焦尚才;張燕;李增艷;倪廣金 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京海普瑞森科技發(fā)展有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B23Q17/20 | 分類號(hào)： | B23Q17/20 |
| 代理公司： | 北京眾合誠(chéng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246 | 代理人： | 史雙元 |
| 地址： | 101500 北京市*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 精密 調(diào)整 轉(zhuǎn)臺(tái) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種超精密氣浮調(diào)整轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，在基座（4）內(nèi)配有高精度氣浮軸承（3），高精度角度轉(zhuǎn)臺(tái)（2）固定在高精度氣浮軸承（3）的圓錐形槽內(nèi)，平移微調(diào)裝置（1）固定在高精度角度轉(zhuǎn)臺(tái)（2）上平面上。?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種超精密氣浮調(diào)整轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，所述基座選用穩(wěn)定性較好的鑄鐵材料。?
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種超精密氣浮調(diào)整轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，所述平移微調(diào)裝置在X向調(diào)整，平移微調(diào)裝置在高精度角度轉(zhuǎn)臺(tái)（2）上平面內(nèi)。?
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