[實用新型]石英導流錐

有效

• 申請號: 201220615233.9
• 申請日: 2012-11-20
• 公開（公告）號: CN202989344U
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 閆衛東;李櫟
• 申請（專利權）人: 陽光能源（青海）有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 西寧工道知識產權代理事務所 63102
• 代理人: 全宏毅

一、????技術領域：本實用新型屬于一種單晶硅生產技術領域，特別涉及一種

單晶硅生產中使用的石英導流錐。

二、技術背景：在現有的單晶硅規模化生產中，為了贏得并擴大市場份額，需要從各方面入手，提高產品的內在質量，從而生產出高品質的單晶硅。通過產品質量優化，降低單晶硅中的雜質含量，尤其是金屬離子，就可顯著增加單晶硅少子的壽命，由此也可提高硅電池的轉換效率。單晶硅直拉是在高溫密閉環境中進行，為了帶走高溫下揮發的雜質，則采用對爐內抽真空進行強制排氣，并始終保持低真空狀態，但單晶爐內因結構需要而局部會存在氣流循環薄弱部位，形成雜質高聚集區，特別是在單晶硅生產后期，因單晶硅棒頭部進入副爐室，而影響氣流循環，使聚集區內的部分雜質擴散進入單晶硅內，這樣就造成了單晶硅雜質含量的增加，尤其是爐蓋與石墨加熱系統上保溫蓋之間揮發并聚集的金屬離子，對單晶硅少子壽命影響更大。

三、發明內容：

???本實用新型的目的是針對現有技術存在的上述不足，而研制一種新型的石英導流錐，該石英導流錐可有效地克服現有技術帶來的上述不足，它具有結構簡單，易于實現，有效減少了單晶硅直拉過程中氣流循環薄弱區雜質在硅中的擴

散，能夠顯著提高單晶硅品質等優點，有較好的經濟效益。

其技術方案是：這種石英導流錐的特征是根據單晶爐翻板閥閥口的尺寸，采用高純石英為原料制作成石英管，在石英管的頭部設有帽檐，使用中石墨導流錐的帽檐卡在翻板閥閥口內，翻板閥的尾部伸入到石墨導流錐的石英管內。“根據單晶爐翻板閥閥口的尺寸是為了使制成的石英導流錐的尺寸大小能和翻板閥閥口的尺寸相互匹配，否則將會無法使用。本實用新型在研究和用于生產的實驗中，石英導流錐的使用就能隔離了爐蓋與石墨加熱系統上保溫蓋之間的雜質高聚集區，從而有效減少了雜質與單晶硅棒的接觸，提高了單晶硅棒的品質。

???本實用新型的石英導流錐，可有效地克服現有技術帶來的上述不足，它具有

結構簡單，易于實現，有效減少了單晶硅直拉過程中氣流循環薄弱區雜質在硅中的擴散，能夠顯著提高單晶硅品質等優點，有較好的經濟效益。

四、附圖說明：

圖1為石英導流錐的主視結構示意圖。

圖1中：1、帽檐；2、石英管。??下面結合實施例進行詳細描述。.

五、具體實施方式：

實施例1：圖1可作為本實用新型的具體實施例結構示意圖。先測得單晶爐翻板閥閥口的尺寸，再以測得的單晶爐翻板閥閥口的尺寸，采用高純石英為原料制作成石英管(2)，使制成的石英導流錐的尺寸大小能和翻板閥閥口的尺寸相互匹配，在石英管(2)的頭部設置帽檐（1），使用中石墨導流錐的帽檐（1）卡在翻板閥閥口內，翻板閥的尾部伸入到石墨導流錐的石英管(2)內。