[實用新型]直拉單晶爐熱場裝置

有效

• 申請號: 201220614909.2
• 申請日: 2012-11-19
• 公開（公告）號: CN203007469U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 李定武;周銳;李僑
• 申請（專利權）人: 西安隆基硅材料股份有限公司;無錫隆基硅材料有限公司;寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 羅笛

1.一種直拉單晶爐熱場裝置，包括爐體（11）及設置于爐體（11）內部的坩堝（12）、加熱器（13）及保溫機構（14），所述加熱器（13）及保溫機構（14）依次環繞所述坩堝（2）設置，其特征在于，還包括與所述爐體（11）外部相連通的排氣機構（16），所述排氣機構（16）嵌設于所述保溫機構（14）內。

2.根據權利要求1所述的直拉單晶爐熱場裝置，其特征在于：所述保溫機構（14）包括第一保溫層（144）及位于所述第一保溫層（144）上方的第二保溫層（147），所述第一保溫層（144）具有多個第一安裝孔（1440），所述第二保溫層（147）具有靠近所述第一保溫層（144）的多個第二安裝孔（1470），所述排氣機構（16）包括一一對應連通的多個排氣管（160）和多個抽氣口（161），所述多個排氣管（160）嵌設于所述第一保溫層（144）的多個第一安裝孔（1440）內，所述多個抽氣口（161）嵌設于所述第二保溫層（147）的多個第二安裝孔（1470）內，并與所述坩堝（12）及加熱器（13）相對。

3.根據權利要求2所述的直拉單晶爐熱場裝置，其特征在于，所述多個排氣管（160）和多個抽氣口（161）均環繞所述坩堝（12）的中心軸線等角度分布。

4.根據權利要求2所述的直拉單晶爐熱場裝置，其特征在于，所述多個第一安裝孔（1440）均沿所述坩堝（12）的中心軸向開設。

5.根據權利要求2所述的直拉單晶爐熱場裝置，其特征在于，所述保溫機構（14）還包括位于第一保溫層（144）內側且靠近第二保溫層（147）的過渡盤（143），且具有與所述多個抽氣口（161）一一對應的多個定位槽（145），所述多個定位槽（145）開設于所述過渡盤（143）。

6.根據權利要求2所述的直拉單晶爐熱場裝置，其特征在于，所述保溫機構（14）還包括位于所述第二保溫層（147）內側的第二保溫筒（146），所述保溫機構（14）還具有與所述多個抽氣口（161）一一對應的多個定位槽（145），所述多個定位槽（145）開設于所述第二保溫筒（146）或第二保溫層（147）。

7.根據權利要求2所述的直拉單晶爐熱場裝置，其特征在于，所述保溫機構（14）還包括位于所述第二保溫層（147）內側的保溫蓋（148）。

8.根據權利要求7所述的直拉單晶爐熱場裝置，其特征在于，還包括導流筒（15），所述導流筒（15）包括導流部（150）及凸緣部（151），所述導流部（150）部分位于所述坩堝（12）內，所述凸緣部（151）連接于所述導流部（150）的上端，所述導流筒（15）的凸緣部（151）承載于所述保溫蓋（148）。

9.根據權利要求1所述的直拉單晶爐熱場裝置，其特征在于，還包括抽氣裝置，所述排氣機構（16）通過所述抽氣裝置與爐體（11）外部相連通。