[實(shí)用新型]熱板排風(fēng)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220614347.1
• 申請(qǐng)日: 2012-11-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202984039U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丘志春;陳顯旻;吳長(zhǎng)明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號(hào): B05D3/06
• 分類號(hào): B05D3/06
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 丁紀(jì)鐵

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體集成電路制造裝置，特別是涉及一種熱板排風(fēng)裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有涂布機(jī)在光刻膠涂布后熱板烘烤針對(duì)產(chǎn)生的有機(jī)排風(fēng)所采用的是扁錐形單孔排氣式熱板排風(fēng)裝置，如圖1所示，包括扁錐形蓋板11、導(dǎo)入口12及轉(zhuǎn)接套口13，其中扁錐形蓋板11及轉(zhuǎn)接套口13通過(guò)導(dǎo)入口12相接。如圖2所示，為扁錐形單孔排氣式熱板排風(fēng)裝置使用示意圖，扁錐形蓋板11安裝在升降板15上，升降板15安裝在熱板16上方，通過(guò)排風(fēng)口14對(duì)硅片17進(jìn)行散熱。如圖所示，排氣氣流類似傘式向上，氣流中間大，兩邊小，均一性不好，且排風(fēng)效果差，速度慢，穩(wěn)定性較差，對(duì)于1微米以下普通光刻膠成膜來(lái)說(shuō)基本上可以接受，但是對(duì)于有機(jī)溶劑成分很高的厚Polyimide(厚度16微米以上)涂布成膜工藝來(lái)說(shuō)，大量的有機(jī)蒸汽以及硅片上留下的十幾微米的光刻膠膜所受排氣穩(wěn)定性的影響將非常嚴(yán)重，直接影響了Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性。如圖3所示，為利用現(xiàn)有的扁錐形單孔排氣式熱板排風(fēng)裝置，Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性測(cè)試圖，在硅片的上(top)、下(bottom)、左(left)、右(right)及中間(center)位置取5個(gè)點(diǎn)對(duì)其進(jìn)行測(cè)試，從圖中可以看出，5個(gè)點(diǎn)劃片槽寬度波動(dòng)劇烈，穩(wěn)定性差。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種熱板排風(fēng)裝置，能改善排風(fēng)效果，提高排風(fēng)速度及穩(wěn)定性。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供的一種熱板排風(fēng)裝置，包括一熱板主蓋板、排風(fēng)導(dǎo)入口及一排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口，所述熱板主蓋板及排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口通過(guò)所述排風(fēng)導(dǎo)入口相接，所述熱板主蓋板的底面分布有均勻而密集的排風(fēng)口。

較佳的，所述排風(fēng)口為圓形、方形或多邊形。

較佳的，所述排風(fēng)口的大小根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行調(diào)節(jié)。

較佳的，所述熱板主蓋板的底面與加熱硅片平行。

較佳的，所述排風(fēng)導(dǎo)入口設(shè)置在所述熱板主蓋板的側(cè)面中部。

較佳的，還包括排風(fēng)動(dòng)力端，所述排風(fēng)動(dòng)力端與所述排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口相連接。

較佳的，所述排風(fēng)動(dòng)力端為獨(dú)立排風(fēng)動(dòng)力端。

本實(shí)用新型熱板排風(fēng)裝置大大提高排風(fēng)效果和速度及穩(wěn)定性，直接提高了Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明：

圖1是現(xiàn)有的熱板排風(fēng)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是現(xiàn)有的熱板排風(fēng)裝置使用狀態(tài)示意圖；

圖3是利用現(xiàn)有的熱板排風(fēng)裝置Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性測(cè)試圖；

圖4是本實(shí)用新型的熱板排風(fēng)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本實(shí)用新型的熱板排風(fēng)裝置使用狀態(tài)示意圖；

圖6是利用本實(shí)用新型的熱板排風(fēng)裝置Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性測(cè)試圖。

主要附圖標(biāo)記說(shuō)明：

扁錐形蓋板11??????導(dǎo)入口12

轉(zhuǎn)接套口13????????排風(fēng)口14

升降板15上????????熱板???16

硅片17

熱板主蓋板31??????排風(fēng)導(dǎo)入口32

排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口33????排風(fēng)口34

升降板35??????????熱板36

硅片37

具體實(shí)施方式

為使貴審查員對(duì)本實(shí)用新型的目的、特征及功效能夠有更進(jìn)一步的了解與認(rèn)識(shí)，以下配合附圖詳述如后。

如圖4、圖5所示，本實(shí)用新型的熱板排風(fēng)裝置，包括一熱板主蓋板31、排風(fēng)導(dǎo)入口32及一排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口33，所述熱板主蓋板31及排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口33通過(guò)所述排風(fēng)導(dǎo)入口32相接，排風(fēng)轉(zhuǎn)接套口33的另一端與獨(dú)立排風(fēng)動(dòng)力端相連接(圖上為標(biāo)出)，所述熱板主蓋板31的底面分布有均勻而密集的排風(fēng)口34，可以大大提高排風(fēng)效果和速度。其中，所述排風(fēng)口34的形狀可以為圓型、方形、多邊形或者其他形狀；所述排風(fēng)口34的大小可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行調(diào)節(jié)。較佳的所述熱板主蓋板31的底面與加熱硅片37平行，較佳的所述排風(fēng)導(dǎo)入口32設(shè)置在所述熱板主蓋板31的側(cè)面中部。在使用中熱板主蓋板31設(shè)置在升降板35上，升降板35安裝在熱板36上方。

如圖6所示，為利用本實(shí)用新型的熱板排風(fēng)裝置Polyimide劃片槽寬度的穩(wěn)定性測(cè)試圖，在硅片的上(top)、下(bottom)、左(1eft)、右(right)及中間(center)位置取5個(gè)點(diǎn)對(duì)其進(jìn)行測(cè)試，從圖中可以看出，5個(gè)點(diǎn)劃片槽寬度波動(dòng)平穩(wěn)，與圖3相比，穩(wěn)定性有了明顯的改進(jìn)。

以上通過(guò)具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，但這些并非構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在不脫離本實(shí)用新型原理的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員還可做出許多變形和改進(jìn)，這些也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。