[實用新型]具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉積設備

有效

• 申請號: 201220610564.3
• 申請日: 2012-11-19
• 公開（公告）號: CN203159707U
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發明（設計）人: 劉祥林
• 申請（專利權）人: 劉祥林
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，包括：?

共用氣路(101)，所述共用氣路(101)包括MO源、氮氣、氨氣、氫氣氣路；反應室(160)，每個反應室包括多個子反應器(161)；?

子反應器分氣裝置(111)，從所述共用氣路(101)得到子反應器(161)中MOCVD外延所需要的各種氣氛，控制各種氣體的流量；?

壓強控制系統(170)，控制整個反應室(160)的壓強；?

其中所述子反應器(161)包括：?

子反應器勻氣罩(121)，控制子反應器中的氣流狀態；?

子反應器旋轉軸(151)，帶動子反應器襯底托盤(131)旋轉；?

子反應器襯底托盤(131)，由子反應器旋轉軸(151)帶動旋轉；?

子反應器加熱器(141)，用來對子反應器襯底托盤(131)加熱。?

2.如權利要求1所述的具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，反應室(160)包括多個完全相同的子反應器(161)，這些子反應器(161)通過子反應器分氣裝置(111)與共用氣路(101)連接；通過對每個子反應器(161)的流場、溫場和各種反應氣體的流量控制得到一致的外延薄膜或器件結構。?

3.如權利要求1所述的具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，反應室(160)可以包含2個或2個以上的子反應器(161)。?

4.如權利要求1所述的具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，子反應器(161)是立式子反應器或是水平子反應器，?但每個設備中的所有子反應器(161)的結構一致。?

5.如權利要求1所述的具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，多個子反應器(161)利用子反應器分氣裝置(111)從共用氣路(101)中得到生長氣體，利用子反應器分氣裝置(111)控制通入各子反應器(161)的氣體流量，使子反應器(161)的反應氣體和載氣的流量相同。?

6.如權利要求1所述的具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，多個子反應器(161)具有相同的子反應器加熱器(141)，通過單獨控制得到相同的溫度，加熱方式是電阻加熱、高頻加熱或是光輻射加熱。?

7.如權利要求1所述的具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，每個反應室(160)中的多個子反應器(161)共用一個壓強控制系統(170)，以得到相同的生長壓強。?